完整版EBSD电子背散射衍射.ppt

电子背散射衍射（ EBSD ） （ E lectron B ack S cattered D iffraction ） 汇报人： 目 录 Contents 一 二 四 三 五 六 七 EBSD 的由来 目 录 Contents EBSD —— 扫描电镜附件之一 1. 基于 SEM 的一种测量晶体 取向 的技术 2. 安装于电子显微镜 （场发射或钨灯丝电 镜）或者电子探针上的 EBSD 系统示意图 Nordlys Nano 及 Max 2 —— Oxford SEM 上装 配的 EBSD 目 录 Contents EBSD 的由来 目 录 Contents 1928 年 Seishi Kikuchi 第一次观察到 了电子衍射形成的 Kikuchi 花样 P pattern of calcite (Kikuchi, Japanese Journal of Physics, V, 2, 1928.) P pattern of mica (Kikuchi, Japanese Journal of Physics, V, 2, 1928.) EBSD 的由来 目 录 Contents 1954 年， Alam, Blackman, Pashley. ‘High angle Kikuchi patterns. Proc. Royal Society of London. 较早报道了背反射条件下的衍射花样。 1967 年， Coates 第一次报道 SEM 下 观察到的菊池花样。 80~90 年代 ，优化算法＋摄像技术＋ 计算机技术发展 才催化出 EBSD 技 术走向实用化。 目 录 Contents 晶体学基础 2.1 晶体取向（差）的定义 ? 一个晶粒相对于其周边其他晶粒的取向差变 RD(rolling dir- ection, 轧向 ) TD(transverse direction, 横向 ) ND (normal direction, 法向 ) 目 录 Contents 晶体学基础 2.2 晶体取向（差）的表征 欧拉角 (ψ1 、 Φ 、 ψ2) ： 将定点转动的过程分解为 三个相互独立的定轴转动 欧拉角 (ψ1 、 Φ 、 ψ2) 物理意义： 第一次：绕 ND 轴旋转 ψ1 角； 第二次：绕 RD 轴旋转 Φ 角； 第三次：绕 ND 轴旋转 ψ2 角。 这时样品坐标轴和晶体坐标轴重合。 目 录 Contents 晶体学基础 2.3 极图 极图是表示某一取向晶粒的某一选定晶面｛ hkl ｝ 在包含 样品坐标系方向 的极射赤面投影图上的位置 的图形。 ｛ 001 ｝极图示意图 目 录 Contents 晶体学基础 立方晶体 （ 001 ） 标准投影 图 目 录 Contents 晶体学基础 2.4 反极图 反极图是是描述多晶体材料中平行于材料的某一 外观特征方向的晶向在晶体坐标架的空间分布的图 形，参考坐标架的 3 个轴一般取晶体的 3 个低指数的 晶向。 板织构 热压缩 低碳钢 反极图 目 录 Contents EBSD 的原理及系 统组成 3.1 EBSD 组成 样品（倾斜 70 ? ） ; 磷荧光屏 ; (CCD) 录像相机 ; SEM 控制部件、接口 ; 控制 EBSD 实验的计算机 及软件 . 目 录 Contents EBSD 的原理及系 统组成 ? 电子束轰击至样品表面 ? 电子撞击晶体中原子产生 散射 ，这些散射电子由于撞击 的晶面类型 ( 指数、原子密度 ) 不同在某些 特定角度 产生 衍 射效应 ，在空间产生 衍射圆锥 。几乎所有晶面都会形成各 自的衍射圆锥，并向空间无限发散 ? 用 荧光屏平面 去截取这样一个个无限发散的衍射圆锥， 就得到了一系列的 菊池带 。而截取菊池带的数量和宽度， 与 荧光屏大小 和 荧光屏距样品 ( 衍射源 ) 的 远近有关 ? 荧光屏获取的电子信号被后面的高灵敏度 CCD 相机 采集 转换并显示出来。 ?不论是在 SEM 下还是 TEM 下，获取结构取向信息的基本过 程都是通过电子衍射得到与不同晶面直接对应的菊池带衍 射花样（或衍射斑花样），因此需要着重对菊池带进行分 析，与数据库对比，分析衍射图样。 3.2 EBSD 工作原理 目 录 Contents EBSD 的原理及系 统组成 3.3 菊池带产生原理 ? 入射电子束进入样品，由于非弹性散射（能量有损失 ，波长无变化），在入射点附近发散，在表层几十纳 米范围内成为一个点源。某些背散射电子方向刚好与 该晶体某特定晶格平面（ hkl ）夹角 符合布拉格定律 ： nλ =2 dsinθ 产生衍射，在（ -h-k-l ）也会发生上述衍射 ，在三维空间中形成两个与反射面法线成半角 (90- θ