新型传感器原理及应用教学提纲.pptVIP

新型传感器原理及应用;微 传 感 器 1. MEMS;多学科交叉：MEMS的制造涉及;微 传 感 器 2. MEMS;1993年，美国ADI公司采用;微 传 感 器 目前，MEMS;近年来，国际上MEMS的专利数;微 传 感 器 我国20世纪8;微 传 感 器 二．微型压力传;微 传 感 器 图 微型压力传;微 传 感 器 1. 压阻式微;压阻式压力传感器的工作原理是基;微 传 感 器 1983年丰田;微 传 感 器 图 压阻式微型;微 传 感 器 2. 电容式微;电容式微压力传感器由各向异性刻;微 传 感 器 三．微型加速度;微型加速度计通常由弹性元件(如;微 传 感 器 压阻式微型加速;此课件下载可自行编辑修改，仅供