管式PECVD石墨舟维护方法.pptVIP

工艺培训 Contents目录 Centrotherm graphite boat石墨舟 Boat cycle舟的循环 Disassembly分解 Cleaning清洗 Drying烘干 Assembly装配 Precoating预处理，饱和 Process工艺 Summary概要 Centrotherm graphite boat石墨舟 Centrotherm graphite boat石墨舟 The boat and the wafers act as a capacitor 舟与硅片在反应过程中类似一个电容 The boat is made of highly conductive graphite 舟是由具高电传导性的石墨制作而成 Minimal construction tolerance 舟结构具有最小的误差范围 Boat cycle舟的循环 Disassembly拆解 Requirements需求: 平板桌台 扳手 石墨板的软支架 Cleaning清洗 SiN腐蚀处理方法 Lotus 喷雾清洁器 单独 HF 清洗室 工艺: ~4小时用 20% HF腐蚀 ~6小时用纯水漂洗(多次) 清洗过程后用PH试纸检验舟表面的HF酸残留 建议： 如果使用同一清洗池的话，石墨部件与陶瓷部件需分开。 陶瓷部件不要过度腐蚀 (陶瓷会在HF酸内缓慢溶解) Drying烘干 +8小时在