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- 2020-08-24 发布于福建
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lSO14644介绍及
美国、欧洲、1sO、公司标准比对
刘静
2008-10-14
S○14644介绍
Q ISO-International Organization for Standardization
由全世界不同国家推荐出来的各种专家委员会负责编写这些标准
+ iso 14644 Cleanrooms and associated controlled environments
洁净室及相关受控环境
第1部分:空气洁净度等级划分
第2部分:为认证与so14644-1连续的相符性的测试和监测技术要求
第3部分:计量和测试方法
第4部分:设计、施工和启动
第5部分:运行
第6部分:术语和定义—收集了所有So洁净室标准的术语定义
第7部分:独立密闭洁净装置一有关洁净空气装置的信息
第8部分:分子污染一给出有关洁净室气体污染的信息
二、|SO、美国、欧盟、中国洁净区标准及公司标准比对
SO14644-1空气洁净度等级划分
给出了洁净室不同分级对应的悬浮粒子限度也给出了确定洁净室级别测定悬
浮粒子的方法
被考虑粒径D的粒子C的最大允许浓度用下述公式确定:
C
10×/0.1)2g
D
Cn一大于或等于被考虑粒径的粒子最大允许浓度(pcm空气)。以有效数为3位四舍五入到最靠
近的塾数。
NsO等级级别,最大不超过9。1sO
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