化学镀镍微道沟超级填充工艺.docxVIP

doi: 10． 3969 / j． issn． 1001-3849． 2014． 09． 010 doi: 10． 3969 / j． issn． 1001-3849． 2014． 09． 010 化学镀镍微道沟超级填充工艺 宋 昱， 王增林 ( 应用表面与胶体化学教育部重点实验室 陕西师范大学 化学化工学院，陕西 西安 710062) 摘要: 在次磷酸钠化学镀镍溶液中研究共同添加 3-巯基丙烷磺酸钠和聚乙烯亚胺-5000 对化学镀 镍的影响，通过线性扫描伏安法研究了添加剂对阳极、阴极极化曲线的影响。结果表明，随着 3-巯 基丙烷磺酸钠浓度的增加，化学镀镍平均速率增大，当 ρ( 3-巯基丙烷磺酸钠) 达到 5mg / L 时镀镍平 均沉积速率达到最大，在此溶液中继续添加聚乙烯亚胺-5000 ，发现沉积速率下降，且比单独添加 聚乙烯亚胺-5000 还小。利用 3-巯基丙烷磺酸钠对化学镀镍的加速作用和聚乙烯亚胺-5000 的抑 制作用，以及其在溶液中低的扩散系数，成功实现了化学镍的完全协同填充。 关 键 词: 微道沟; 化学镀镍; 添加剂; 填充 中图分类号: TQ153． 12 文献标识码: A Bottom-Up Filling Process for Submicron Trenches by Electroless Nickel Plating SONG