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半导体生产与洁净度  主要内容 ◆1、半导体的发展简介 ◆2、半导体的基本知识 ◆3、半导体特性决定其制造过程必须有 洁净度要求 ◆4、洁净区的管理  微电子的发展史 1904年英国人弗来明( J. A. Fleming)发明真空二极管。1906年 美国人德福雷斯特( Lee do forest)发明真空三极管。三极管具有检波 放大和振荡三种国能。它被称为电子设备的心脏。但电子管体积大、耗 电多、散热大、易破碎、寿命短等。例如1945年美国莫克利(JW Mauchly)和埃克特(J. P Eckert)研制成功的世界第一台电子计算机共 使用了18000个电子管,重30吨,占地170m2,耗电150KW,运算速度 5000次/sec,平均无故障时间仅7分钟,但它比手摇计算速度快1000倍 比人工快20万倍 1947年12月23日,贝尔研究所物理学家巴丁( J Bardeen)和布 拉顿用两根触丝放在锗半导体的表面,当触丝十分靠近时观察到了信号 放大特征,但是接触晶体管利用触须接点很不稳定。1950年贝尔研究所 领导肖克利( WB Shockley)与物理学家巴丁,布拉顿成功开发第一个结 型晶体管,并于1956年获诺贝尔奖金。1958年德州仪器(TI)公司、基 比尔(J. C Kilby)和仙童公司诸伊斯( RN Noyce)相继研究成功世界