四探针说明书.pdf

. SZT-2C 四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2C 型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途 综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或 柱状半导体材料的径向和轴向电阻率， 测量扩散层的薄层电阻 （亦称 方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外 还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的 中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示， 同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻） ; 探 头修正系数和温度值，用来监测仪器使用时的环境温度。 主机由开关电源， DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳 定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所 以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针， 定位准确，游移率小， 使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半 导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 使 用 温 度： 23℃ ±3℃ 相 对 湿 度： 50%~70% . . 工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源， 二，技术参数 1， 测量范围 6 电阻率： 10 ??-10 ? -cm 方块电阻 10 ??- 10 6? / □ 电阻 10 - ? - 10 6 ? 2 ，可测半导体材尺寸 直 径： Ф5-250mm 长（或高）度： ≤400mm（如配探笔可以测量任意长度） 3 ， 测量方位 轴向，径向均可 4 ， 数字电压表： （1）量程： 20mV,200mV,2V （2）误差：± 0.1%读数± 2 字 （3）输入阻抗 :>10 ?? （4）最大分辨率 :10 μV （5） 点阵液晶显示，过载显示。 5 ， 恒流源： （1） 电流输出：共分 10 μA,100uA,1mA,10mA,100mA六挡可 通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内 CPU运算 后，直接显示修正后的结果。 . . （2）误 差： ±0.5%±2 字，在使用 1 μA 恒流电流输 出时为± 0.5%±5 字 6, 四探针测试头 ; (1) 探 针 间 距 : 1mm (2) 探针机械游移率 : ±1.0% (3) 探 针 材 料 : 碳化钨 , Ф0.5mm (4) 0-2Kg 可调 , 最大压力约 2Kg