ETCH名词解释[汇编].pdfVIP

专有名词解说 — ETCH ◆ 英文名词 ： ETCH ◆ 中文名词 ： 蚀刻 ◇ 定义： 利用物理、化学或是物理加化学的方式将材料移除的过程 ◇ 说明： 使用物理方法 (离子撞击 )或是化学方法 (薄膜与气体或是液体反应 ) ， 将薄膜或是基材不需要的部分去除。 需要的部分可以由 Mask 保护， 保留下来。 ◇ 使用例子： Poly etch、SiN etch、Contact etch、Metal etch、Pad etch。 蚀 上光阻作为 Mask 蚀刻步骤 光阻去除