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硅片标准简介 工艺部 目录 标准化组织 SEM标准内容 SEM|M1-1109 标准化组织 semI SEMI Semiconductor Equipment and Materials International 国际半导体设备材料产业协会 SEMI是一个全全球高科技领域的专业协会,创立于1970年 拥有会员公司2300多家,会员乃从事半导体和平面显示灯 方面的研发、生产和技术供应的公司。 SEMI(国际半导体设备材料产业协会)是全球性的产业协 会,致力于促进微电子、平面显示器及太阳能广电等产业 供应链的整体发展。会员涵括上述产业供应链中的制造、 设备、材料与服务公司,是改善人类生活品质的核心驱动 力。自从1970年至今,SEM不断致力于协助会员公司快速 取得市场咨询提高获利率、创造新市场、克服技术挑战 Ahly ASTM American Society for Testing and materials 美国材料与试验学会 ·ASTM成立于1898年,是世界上最早、最大的非盈利性标 准制定组织 低务是制订材料 品、系统和服务的 特性和性能标准及促进有关知识的发展。 随着业务范围的不断扩大和发展,学会的工作不仅仅是研 究和制定材料规范和试验方法标准,还包括各种材料、产 程序等标准。100多年以来,ASTM已经满足了100 领域的标准制定需求,现有32000多名会员,分别来自于 100多个国家的生产者、用户、最终消费者、政府和学术 代表。 JE|T入JETA 日本电子信息技术工业协会 Japan electronics and Information technology Industries Association是一家行业团体,其宗旨在于促进电子设备 电子元件的正常生产、贸易和消费,推动电子信息技术产 业的综合发展,为日本的经济发展和文化繁荣作出贡献。 目前,正积极致力于解决电子材料、电子元器件、最终产 品等众多领域的各种课题。JE|DA及E|AJ合并后产生。 SEM标准内容 Table of contents -Topical Silicon silicon On Insulator Package Specification Test Method Gases-Process SEMI C Process Chemicals -Acids SEMI C Chemical and Gas Testing SEMI C/F Automated Material Handling Ststems SEMI D/E/G/S Equipment Facilities Interface SEMI E/F Minie SEMI E/F SEMIF High Purity Piping Systems SEMIE/F SEMI E/M SEMI S Terminology SEMI D/E/WP Table of contents- SEMI M Topical Silicon EMI M1 Specifications for polished monocrystalline silicon wafers SEMI M2 Specification for silicon epitaxial wafers for discrete device applications SEMI M6 Specification for silicon wafers for use as photocoltaic solar cells SEMI M8 Specification for polished monocrystalline silicon test wafers SEMI M11 Specifications for silicon epitaxial wafers for integrated circuit application SEMI M16 Specification for polycrystalline silicon arking of the front surface of wafers SEMI M12 Specification for serail alphanumeric ma SEMI M17 Guide for a universal wafer grid SEMI M18 Format for silicon wafer specification form for orde er e SEMI M20 Practice for establishing a wafer coordinate system Specifications for Polished Single