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毕业设计论文
WAT 工艺参数测试
系 电子信息工程系
专业 微电子技术 姓名 钦
班级 微电 学号 1003320
指导教师 席 职称 讲师
设计时间 201.9.19 －.1.4
摘要 :
。要晶圆的工艺参数测试方法。主要介绍以下几个方面的内容 ：参数测试
在现在集成电路产业中的重要性； 晶圆可靠性参数测试的相关知识的介绍； 测试
参数的介绍； 以及测试所需的软件和硬件的介绍； 系统的并详细的说
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