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电磁 感应 被测非电量 自感系数 L 互感系数 M 测量 电路 U 、 I 、 f 第 4 章 电感式传感器 ? 电感式传感器的定义 一种利用线圈自感和互感的变化实现非电量测量的装置。 ? 电感式传感器的感测量 位移、振动、压力、应变、流量、比重等。 ? 电感式传感器的种类 根据转换原理: 自感式(変磁阻式)、互感式(差动变压 器式)、电涡流式三种; 根据结构形式: 气隙型、面积型和螺管型。 第 4 章 电感式传感器 ? 电感式传感器的优点 ① 结构简单、可靠 ② 分辨率高 机械位移 0.1 μm,甚至更小;角位移 0.1 角秒。 输出信号强,电压灵敏度可达数百 mV/mm 。 ③ 重复性好,线性度优良 在几十μm到数百 mm 的位移范围内,输出特性的线性度较好, 且比较稳定。 ④ 能实现远距离传输、记录、显示和控制 ? 电感式传感器的不足 不宜高频动态测量。 第 4 章 电感式传感器 § 4.1 变磁阻式电感传感器 § 4.2 差动变压器式电感传感器 § 4.3 电涡流式传感器 § 4.4 电感式传感器的应用 一、变磁阻式传感器工作原理 二、变磁阻式传感器基本类型 三、变截面式自感传感器输出特性 四、变间隙式自感传感器输出特性 五、差动式自感传感器 六、自感式传感器的等效电路 七、自感式传感器的测量电路 § 4.1 变磁阻式电感传感器 变磁阻式传感器即自感式电感传感器: 利用线圈自感量的变化来实现测量的。 传感器结构: 线圈、铁芯和衔铁三部 分组成。 一、变磁阻式传感器工作原理 § 4.1 变磁阻式电感传感器 线圈中电感量: M N Φ L I IN Φ R ? ? 线圈 铁芯 衔铁 工作原理: 铁芯和衔铁由导磁材料如 硅钢片或坡莫合金制成,在铁芯和衔铁之间 有气隙,气隙厚度为δ,传感器的运动部分 与衔铁相连。当被测量变化时,使衔铁产生 位移,引起磁路中磁阻变化,从而导致电感 线圈的电感量变化。 因此只要能测出这种电感量的变化, 就能确定 衔铁位移量的大小和方向 。 总磁阻 线圈匝数 一、变磁阻式传感器工作原理 § 4.1 变磁阻式电感传感器 2 M N L R ? ? R R F ?? ? ? ? ? 2 2 0 2 AN R N L ? ? ? A R 0 2 ? ? ? ? 2 2 2 1 1 1 A l A l R F ? ? ? ? 磁导率 H/m ? R R R F M ? ? A R R m 0 2 ? ? ? ? ? 线圈 铁芯 衔铁 一、变磁阻式传感器工作原理 二、变磁阻式传感器基本类型 三、变截面式自感传感器输出特性 四、变间隙式自感传感器输出特性 五、差动式自感传感器 六、自感式传感器的等效电路 七、自感式传感器的测量电路 § 4.1 变磁阻式电感传感器 变磁阻式传感器即自感式电感传感器的基本类型: 二、变磁阻式传感器基本类型 § 4.1 变磁阻式电感传感器 线圈 铁芯 衔铁 ( 1 )变气隙厚度式 ( 2 )变气隙面积式 变截面式和螺管式 变气隙 厚度式 螺管式 线圈 铁芯 衔铁 衔 铁 移 动 方 向 变气隙截 面式 一、变磁阻式传感器工作原理 二、变磁阻式传感器基本类型 三、变截面式自感传感器输出特性 四、变间隙式自感传感器输出特性 五、差动式自感传感器 六、自感式传感器的等效电路 七、自感式传感器的测量电路 § 4.1 变磁阻式电感传感器 三、变截面式自感传感器输出特性 § 4.1 变磁阻式电感传感器 ? ? 2 0 0 2 0 A N L ? ? ? 2 ) ( 0 0 2 0 A A N L L L ? ? ? ? ? ? 线圈 铁芯 衔铁 衔 铁 移 动 方 向 ? ? 2 0 2 A N L ? ? ? 0 0 A A L L ? ? ? 因此,输出电感的变化与截面面积 的变化成线性关系。 三、变截面式自感传感器输出特性 § 4.1 变磁阻式电感传感器 线圈 铁芯 衔铁 衔 铁 移 动 方 向 0 0 0 1 / A A L L K ? ? ?
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