1《真空设备》实验指导书(全).pdfVIP

真空设备实验指导书 真空设备实验指导书 课程编号 课程编号： 课程名称： 课程名称：真空设备 真空设备 实验一 旋片泵主要性能测试 实验一 旋片泵主要性能测试 一、实验目的 一、实验目的 1 1）利用油封式旋片式机械真空泵获得低真空及其实验方法； ）利用油封式旋片式机械真空泵获得低真空及其实验方法； 2 2）正确使用压缩式真空计的测试方法及其低真空计的比对实验。 ）正确使用压缩式真空计的测试方法及其低真空计的比对实验。 二、实验的主要内容 二、实验的主要内容 1 1）①极限真空 （包括气镇和无气镇），②抽气速率； ）①极限真空 （包括气镇和无气镇），②抽气速率； 2 2）油封式机械旋片真空泵的真空度、极限压力压缩式真空计的使用方法。 ）油封式机械旋片真空泵的真空度、极限压力压缩式真空计的使用方法。 三、实验设备和工具 三、实验设备和工具 1 1）被测试旋片机械真空泵 （注明型号、台数、编号） ）被测试旋片机械真空泵 （注明型号、台数、编号） 2 10% 2）座式压缩真空计 （采用精度 10%以上的压缩真空计校准） ）座式压缩真空计 （采用精度 以上的压缩真空计校准） 3 3）转速表一只； ）转速表一只； 4 4）秒表一只； ）秒表一只； 5 U 5）油U 型管真空计一只； ）油 型管真空计一只； 8 8）测试抽气速率装置 （包括油池、滴定管等）一套； ）测试抽气速率装置 （包括油池、滴定管等）一套； 9 9）热偶真空计一台。 ）热偶真空计一台。 四、实验步骤 四、实验步骤 （一）极限真空 （一）极限真空 30 是在泵不连接被抽，容器 （即无负载的条件下）正常运转 30 分钟后，压缩式真空计在 是在泵不连接被抽，容器 （即无负载的条件下）正常运转 分钟后，压缩式真空计在 泵入口处测得稳定的最低极限压力。若需测定气镇时的极限真空，需将气镇阀开启，利用压 泵入口处测得稳定的最低极限压力。若需测定气镇时的极限真空，需将气镇阀开启，利用压 缩式真空计测量稳定的最低压力。 缩式真空计测量稳定的最低压力。 （二）抽气速率 （二）抽气速率 2X 1.33 10Pa 2X 1.33 10Pa 根据 《 型旋片真空泵技术条件》规定，泵的抽气速率，在进口压力为 × 下， 根据 《 型旋片真空泵技术条件》规定，泵的抽气速率，在进口压力为 × 下， 90% 50% 20% 90% 50% 20% 所测之值分别不得低于名义抽速的 、 和 。 所测之值分别不得低于名义抽速的 、 和 。 1 1 ）测试步骤 ）测试步骤 装置如图一所示