测量薄膜厚度及其折射率的方法课堂.pptVIP

22.04.2020 . 1 薄膜厚度及其折射率的测量 方法 黄丽琳 2010 级物理学（ 1 ）班 22.04.2020 . 2 一、引言 ? 近年来 , 非线性光学聚合物薄膜及器件的研究已成为非线 性光学材料领域的研究热点。非线性光学聚合物薄膜具有多种 优点，如快速响应、大的电光系数、高的激光损伤阈值、小的 介电常数、简单的结构、低损耗和微电子处理的兼容性等，因 此正逐渐成为制造电光调解器和电光开关的重要材料 【 1 】 。 ? 薄膜技术是当前材料科技的研究热点，特别是纳米级薄膜 技术的迅速发展 , 精确测量薄膜厚度及其折射率等光学参数受到 人们的高度重视。由于薄膜和基底材料的性质和形态不同，如 何选择符合测量要求的测量方法和仪器，是一个值得认真考虑 的问题。每一种测量方法和仪器都有各自的使用要求、测量范 围、精确度、特点及局限性。在此主要介绍测量薄膜厚度和折 射率常用的几种方法，并分析它们的特点及存在问题，指出选 择测量方法和仪器应注意的问题 【 2 】 。 22.04.2020 . 3 二、几种测量薄膜厚度及其折射率的方法 ? （一）椭圆偏振法 ( 椭偏法 ) ? 椭圆偏振法是利用一束入射光照射样品表面，通过检测和分 析入射光和反射光偏振状态，从而获得薄膜厚度及其折射率的非 接触测量方法。 根据椭偏方程： ? 若 n s ， n a ， θ 和 λ 已知，只要测得样品的 ψ 和△，就可求得薄 膜厚度 d 和折射率 n f 。测量样品 ψ 和△的方法主要有消光法和光度 法。光路的形式有反射式和透射式，入射面在垂直面和水平面内 两种结构。图 1(a) 是反射式消光法的一种典型结构；图 1(b) 是反射 式光度法的一种典型结构。 22.04.2020 . 4 ? 椭偏法具有很高的测量灵敏度和精度。 ψ 和△的重复性精度 已分别达到± 0.01 °和± 0.02 °，厚度和折射率的重复性精度可 分别达到 0.1nm 和 10 -4 , 且入射角可在 30 °～ 90 °内连续调节，以 适应不同样品；测量时间达到 ms 量级，已用于薄膜生长过程的厚 度和折射率监控。但是，由于影响测量准确度因素很多，如入射 角、系统的调整状态，光学元件质量、环境噪声、样品表面状态、 实际待测薄膜与数学模型的差异等都会影响测量的准确度。特别 是当薄膜折射率与基底折射率相接近 ( 如玻璃基底表面 S i O 2 薄膜 ) ， 薄膜厚度较小和薄膜厚度及折射率范围位于 (n f ， d) ～ (ψ ，△ ) 函数 斜率较大区域时，用椭偏仪同时测得薄膜的厚度和折射率与实际 情况有较大的偏差。因此，即使对于同一种样品、不同厚度和折 射率范围，不同的入射角和波长都存在不同的测量精确度。 ? 椭圆偏振法存在一个膜厚周期 d 0 ( 如 70 °入射角， S i O 2 膜， 则 d 0 =284nm) ，在一个膜厚周期内，椭偏法测量膜厚有确值。若 待测膜厚超过一个周期，膜厚有多个不确定值。虽然可采用多入 射角或多波长法确定周期数，但实现起来比较困难。实际上可采 用其它方法，如干涉法、光度法或台阶仪等配合完成周期数的确 定。 22.04.2020 . 5 （二） 棱镜耦合法（准波导法） 棱镜耦合法是通过在薄膜样品表面放置一块耦合棱镜，将入 射光导入被测薄膜，检测和分析不同入射角的反射光，确定波导 膜耦合角，从而求得薄膜厚度和折射率的一种接触测量方法。波 导模式特征方程为 ? 在 (2) 和 (3) 式中， k 为波数， m 为膜数， N m 为 m 阶导模的有效 折射率， θ ， ε ， N p 分别为耦合角、棱镜角和棱镜折射率。若测得 两个以上模式的耦合角，便可求出 d 和 n f 。棱镜 - 薄膜 - 衬底就组成 一个单侧漏波导， 亦称为准波导， 准波导法名称 由此而来。 22.04.2020 . 6 ? 棱镜耦合测量仪的光路如图 2 所示。棱镜耦合法的测量 精度与转盘的转角分辨率、所用棱镜折射率、薄膜的厚度和 折射率范围及基底的性质等因素有关，折射率和厚度测量精 度分别可达到± 10 -3 和 ( ± 0.5 ％ +5 nm ) ，实际精度还会高些。 ? 棱镜耦合法存在测量薄膜厚度的下限。测量光需在膜层 内形成两个或两个以上波导模，膜厚一般应大于 300- 480nm( 如硅基底 ) ；若膜折射率已知，需形成一个波导模， 膜厚应大于 100 ～ 200nm ；测量范围依赖于待测薄膜和基底 的性质，与所选用的棱镜折射率有关。但测量的薄膜厚度没 有周期性，是真实厚度。膜厚测量范围在 0.3 ～ 15 um ，折射 率测量范围小于 2.6 ，某些情况可达 2.8 。 ? 待测薄膜表面应平整和干净，测量时间约 20 秒以上，不 适合于实时测量。棱镜耦合法不但可以