11. 透射电镜 原子力显微镜.pdfVIP

第十一章 透射电镜 原子力显 微镜 电子与物质交互作用 X射线衍射仪 电子探针仪 扫描电镜 X 射 线 二次电子 韧致辐射 入射电子 背散射电子 阴极荧光 吸收电子 俄歇电子 试 样 透射电子 衍射电子 俄歇电镜 透射电子显微镜 电子衍射仪 电子与物质相互作用产生的信息及相应仪器 透射电子显微镜 透射电子显微镜 透射电子显微镜是利用电子的波动性来观察固体材料内部 的各种缺陷和直接观察原子结构的仪器。 尽管复杂得多，它在原理上基本模拟了光学显微镜的光路 设计，简单化地可将其看成放大倍率高得多的成像仪器。 一般光学显微镜放大倍数在数十倍到数百倍，特殊可到数 千倍。而透射电镜的放大倍数在数千倍至一百万倍之间 ，有 些甚至可达数百万倍或千万倍。 TEM 的形式 透射电子显微镜 （简称透射电镜，TEM），可以以几种不同 的形式出现，如： 高分辨电镜 （HRTEM） 透射扫描电镜 （STEM） 分析型电镜 （AEM）等等。 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束 ：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。 透射电镜的发展 1932 年德国科学家Knoll 和 Ruska 制成第一台透射电镜 ，放 大倍数才12倍 ，分辨率与光学显 微镜差不多。 1934 年在实验室制作第二台 透射电子显微镜 ， 分辨率达到 50nm。 1938 年，德国西门子公司生 产的仪器分辨率达到10nm。 在 1940 年代 ， 常用的50 至 100 keV 之 TEM 其 分 辨 率 (resolving power) 约在l0 nm左 右，而最佳分辨率则在2 至3 nm 之间。 TEM 成像原理 成像原理与光学显微镜类似。 它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束， 透射电子显微镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见 光聚焦成像的是玻璃透镜，在电子显微镜中相应的为磁透镜 。 由于电子波长极短，同时与物质作用遵从布拉格（Bragg ）方程，产生衍射现象，使得透射电镜自身在具有高的像分 辨本领的同时兼有结构分析的功能。 光源 电子枪 聚光镜 聚光镜 试样 试样 物镜 物镜 中间象