不锈钢表面沉积N掺杂与Cr_N共掺杂DLC薄膜的耐腐与导电性能研究.pdfVIP

重庆大学硕士学位论文 中文摘要 摘 要 质子交换膜燃料电池（PEMFC ）技术具有许多优越的性能，被认为是最有前 途的绿色高效发电技术之一。双极板是它的重要组成部分，对电池性能和制备成 本具有重要的影响。不锈钢双极板具有强度高，导热性能好，成本低，资源丰富， 可以更好地高燃料电池的比功率等优点。但是在燃料电池的运行环境下，不锈 钢材料存在表面钝化或溶解等腐蚀问题。因此，对不锈钢双极板材料表面进行优 化研究，改进其导电及耐腐蚀性能是很有必要的。 类金刚石钻石具有优异的化学稳定性，可用于制备耐腐蚀涂层。在类金刚石 膜中进行元素掺杂能够使其具有较好的导电性能，但是，在不锈钢双极板防护方 面的应用，类金刚石膜的导电性还有待研究改善。 为了获得具有良好导电性和高耐腐蚀性的类金刚石薄膜，本文在不锈钢 316 L 和硅片上，通过调节实验工艺参数（氮气流量与 Cr 靶功率），分别制备了 N 掺杂 和 Cr/ N 共掺杂的类金刚石碳膜。模拟了质子交换膜燃料电池（PEMFC ）的工作 环境，研究了未涂层样品和涂层样品的电学性能和耐腐蚀性能。主要结果如下： ① 扫电镜（SEM）结果表明，铬氮共掺杂 DLC 薄膜的表面更加均匀。通 过对 X 射线光电子能谱（XPS ）和X 射线衍射（XRD ）结果的分析，发现Cr/N 共 沉积 DLC 膜是非晶态 C、CrC、CN、Cr N 和纳米晶 CrN 相结合的结构。 2 ② 接触电阻测试表明，Cr/N 共掺杂 DLC 薄膜（Cr 靶功率 90W ）具有最好的 2 2 导电性（140N/cm 压力下为 9.20mΩ•cm ）。 ③ 动电位极化试验表明，N 掺杂 DLC 和 Cr/N 共掺杂 DLC 薄膜的耐腐蚀性 -6 -7 2 能（腐蚀电流密度可达 E ~E A/cm ）均优于未掺杂316L 不锈钢，综上所述，Cr/N 共掺杂 DLC 薄膜（Cr 靶功率 90W ）在导电性和耐腐蚀性方面均表现出优异的性 能,能适用于不锈钢双极板的表面处理。 关键词：双极板；DLC 薄膜；氮铬共掺杂；导电；腐蚀 I 重庆大学硕士学位论文 英文摘要 Abstract Proton exchange membrane fuel cells (PEMFC) have many superior properties and are considered to be one of the most promising green high-efficiency power generation technologies. Bipolar plates are an important part of them, which have a certain impact on battery performance and preparation costs. The stainless steel bipolar plate has the advantages of high strength, good electric heat conduction performance, low cost and abundant resources, and can better increase the specific power of the fuel cell. However, in the operating environment of a fuel cell, stainless steel materials may have corrosion problems su