氨气热还原法制备氮化钛工艺研究.pdfVIP

中文摘要 摘 要 氮化钛是一种具有诸多优良性能的材料，例如熔点和硬度高、导电性和导热 性优良、耐腐蚀和磨损性好，因而在金属陶瓷、高温涂层、电子领域等有广泛应 用。但就目前而言，氮化钛的商品化应用程度并不高，限制其应用的主要因素就 是生产成本问题。目前，工业上大规模生产氮化钛粉末的方法有钛粉和氢化钛粉 的氮化法，其他方法暂时还不能进行规模化生产，而Ti/TiH2 价格昂贵，也限制了 其进一步发展。因此，研究出切实可行且生产成本低的氮化钛粉末制备方法具有 重要意义。 本文提出一种基于氨气直接还原氮化二氧化钛制备氮化钛的新方法，以 NH3 作为还原剂和氮源，借助气固相反应速率快的优点，实现低温快速制备TiN 粉末。 论文首先通过热力学计算软件（FactSage 6.2 ）查明了二氧化钛还原氮化的热 力学规律。具体研究了TiO -NH 体系里不同气体成分对TiO 的还原和氮化效果， 2 3 2 热力学平衡表明，NH3 在高温下会发生分解，分解的H2 在温度低于 1773K 以下只 能将TiO 还原至Ti O ，而N 无法氮化钛氧化物。在氨气还原氮化TiO 的过程中， 2 3 5 2 2 固体产物可能分为三种，低价钛氧化物，钛氧化物和氮化钛的混合物以及纯氮化 钛，增大 NH3 比例可以得到高纯度的氮化钛，在较低温度下增大氨气比例可以不 经过中间氧化物而得到氮化钛。 其次研究了热还原氮化工艺中的物相转变规律，研究了 NH3 高温分解行为， 1000℃下NH3 分解比例为60%，实际气体成分中H2 体积百分比为56.3%，N2 占比 18.8%，残留NH 占比24.9% 。研究了H ：N 摩尔比3:1 时对TiO 的还原氮化效 3 2 2 2 果，1200℃时该比例的混合气体只能够将TiO 还原至Ti O ，在 1400℃下，H 只 2 4 7 2 能够将TiO 还原至Ti O ，N 不能够将钛氧化物氮化为TiN 。通过XRD 分析测试 2 3 5 2 手段研究了二氧化钛的物相转变历程，不同温度下氨气还原氮化TiO2 的反应路径 不同，在 1000℃及以下温度，TiO 的转变路径为TiO →TiN→Ti(N,O) ，在温度高 2 2 于1000℃时，TiO 被还原后氮化，转变路径为TiO →Ti O →TiN→Ti(N,O) ，不 2 2 n 2n-1 同温度下的还原程度不同，在试验结果中，1100℃下为Ti O ，1200℃下为Ti O ， 4 7 3 5 温度越高，钛的价态越低。 最后，对氨气热还原氮化法制备氮化钛的工艺进行了深入研究，探查了不同 工艺制度（焙烧温度、焙烧时间、氨气流量等）对氮化钛粉末制备的影响，研究 结果表明，反应温度和还原氮化时间对 NH3 的还原氮化效果影响明显，提高温度 和延长时间都有助于降低产物中的O 含量；试验条件下最优的工艺参数为NH3 流 量为150ml/min 时在1200℃反应8h，此