设备管理抛光混床超纯水系统及废水回收系统设备方案书.pdfVIP

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  • 2020-09-13 发布于北京
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设备管理抛光混床超纯水系统及废水回收系统设备方案书.pdf

设备管理抛光混床超 纯水系统及废水回收 系统设备方案书 目录 一、技术规范 1 1 、设计要求1 2 、设计依据2 3 、系统对外界要求2 4 、工艺流程描述3 二、系统及设备技术要求 4 1 、各主体设备的技术要求4 1.1 、预处理部分4 (1)原水储槽4 (2)原水泵4 (3)石英砂过滤器4 (4)活性炭过滤器5 (5)过滤水储槽7 (6)RO 保安过滤器 7 1.2 、RO 脱盐部分 7 (1)高压泵7 (2)反渗透装置8 1.3 、EDI 脱盐部分 10 (1)全自动电离子再生除盐装置10 1.4 、精致过滤器部分10 (1)TOC 脱除器 10 (2)精致过滤器装置1

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