1薄膜样品的制备.pptVIP

1 § 11-1 概 述（ 3 ） ? 若配备 加热 、 冷却 、 拉伸 等 特殊样品台 ，还能在高分辨下进 行材料薄膜的 原位动态分析 ，用于研究材料相变和形变机理， 揭示其微观组织、结构和性能之间的内在关系。 ? 迄今为止，只有利用薄膜透射技术，方能在同一台仪器上同 时对 材料的微观组织 和 结构 进行同位分析。 2 第 二 节 薄 膜 样 品 的 制 备 3 一、薄膜样品应具备的基本要求（ 1 ） 1. 薄膜样对电子束须有足够的“透明度” 。 ? 电子束的穿透能力和加速电压有关。 当 U=200kV 时，可穿透 500nm 厚 的铁膜； 当 U= 1000kV 时，可穿透 1500nm 厚 的铁膜。 ? 从图像分析角度来看： ① 样品较厚， 膜内不同层上的结构细节彼此重叠而互相干扰， 得到图像复杂，难以进行分析。 ② 样品太薄， 表面效应明显，组织、结构有别于大块样品。 ? 因此，不同研究目的，样品厚度选用应适当。 对 一般金属材料，样品厚度都在 500 nm 以下。 4 一、薄膜样品应具备的基本要求（ 2 ） 2. 薄晶组织结构须和块样相同，样