一种基于人工智能的IC芯片缺陷检测方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111145164 A (43)申请公布日 2020.05.12 (21)申请号 201911396775.4 (22)申请日 2019.12.30 (71)申请人 上海感图网络科技有限公司 地址 201800 上海市嘉定区科福路358-368 号4幢1层E区J3405室 (72)发明人 张弛　朱磊　侯晓峰　 (74)专利代理机构 北京智客联合知识产权代理 事务所( 特殊普通合伙 ) 11700 代理人 杨群 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 3/40(2006.01) G06K 9/62(2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 (54)发明名称 一种基于人工智能的IC芯片缺陷检测方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于人工智能的IC芯片 缺陷检测方法，所述检测方法如下：设备准备：高 清摄像单元、AI视觉中枢主机、环形光源；通过环 形光源，使IC芯片能够清晰展现缺陷图像特征； 通过高清摄像单元采集IC芯片的各个不同类型 的图像特征；本发明的有益效果是：有助于提高 IC芯片缺陷检测的效率，减少人的劳动强度；利 用GAN生成样本数据，使得海量真实图片训练得 到的识别模型更精准；通过增设的标注模块和提 取模块，有助于对IC芯片缺陷部位进行标注，并 提高了IC芯片图像识别的精确度；IC芯片图像特 征提取时使用双线性插值算法对图片进行缩放， A 利用卷积核对图像进行卷积处理，进一步提高了 4 图像特征的可靠提取。 6 1 5 4 1 1 1 1 N C CN 111145164 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种基于人工智能的IC芯片缺陷检测方法，其特征在于：所述检测方法如下： 步骤一：设备准备：高清摄像单元、AI视觉中枢主机、环形光源； 步骤二：通过环形光源，使IC芯片能够清晰展现缺陷图像特征； 步骤三：通过高清摄像单元采集IC芯片的各个不同类型的图像特征； 步骤四：AI视觉中枢主机基于采集的图像数据进行IC芯片缺陷识别模型的训练，生成 IC芯片缺陷识别模型； 步骤五：AI视觉中枢主机加载IC芯片缺陷识别模型，对待检IC芯片进行缺陷检测识别。 2.根据权利要求1所述的一种基于人工智能的IC芯片缺陷检测方法，其特征在于：还包 括增加样本数量，增加样本数量的方式如下： 对现有图片做轻微更改，通过翻转，平移，亮度变化，比例变换，增加噪音来增加样本数 量； 利用生成式对抗网络GAN基于小样本图片生成不同风格，全新的大量样本数据。 3.根据权利要求1所述的一种基于人工智能的IC芯片缺陷检测方法，其特征在于：所述 IC芯片缺陷为溢料、缺料、气孔、划痕、沾污、压伤中的一种或几种。 4.根据权利要求1所述的一种基于人工智能的IC芯片缺陷检测方法，其特征在于：还包 括存储模块，该模块用于对采集的数据进行存储。 5.根据权利要求1所述的一种基于人工智能的IC芯片缺陷检测方法，其特征在于：还包 括提取模块，该模块用于实现IC芯片图像特征的提取。 6.根据权利要求1所述的一种基于人工智能的IC芯片缺陷检测方法，其特征在于：还包 括标注模块，该模块用于对IC芯片的图像缺陷进行标注。 7.根据权利要求1所述的一种基于人工智能的IC芯片缺陷检测方法，其特征在于：IC芯 片图像特征提取时使用双线性插值算法对图片进行缩放