太阳能电池片扩散工艺..pdfVIP

扩散工艺培训 一、扩散目的 在P 型衬底上扩散N 型杂质形成PN 结。达到合适的掺杂浓度ρ/方块电阻R 。 □ 即获得适合太阳能电池PN 结需要的结深和扩散层方块电阻。 R 的定义：一个均匀导体的立方体电阻 ,长L，宽W ，厚d R= ρ L / d W =( ρ □ /d) (L/W)此薄层的电阻与（L / W ）成正比，比例系数为（ ρ /d ）。这个比例系数 叫做方块电阻，用R 表示： □ R = ρ / d □ R = R （L / W） □ 二、太阳电池磷扩散方法 1、三氯氧磷（POCl ）液态源扩散（本