半导体第三讲 下 单晶硅生长技术.pptVIP

单晶硅生长技术现状 2014-11-16 单晶硅简介 *硅(Si)材料是信息技术、电子技术和光伏技术最重 要的基础材料 从某种意义上讲,硅是影响国家未来在高新技术和 能源领域实力的战略资源。 *作为一种功能材料,其性能应该是各向异性的,因 此半导体硅大都应该制备成硅单晶,并加工成抛光 片,方可制造IC器件,超过98%的电子元件都是使 用硅单晶 2014-11-16 单晶硅简介 *单晶硅属于立方晶系,金刚石结构,是一种性能优良 的半导体材料 自上世纪40年代起开始使用多晶硅至今,硅材料的生 长技术已趋于完善,并广泛的应用于红外光谱频率光 学元件、红外及射线探测器、集成电路、太阳能电池 等 此外,硅没有毒性,且它的原材料石英(SiO2)构成了 大约60%的地壳成分,其原料供给可得到充分保障 硅材料的优点及用途决定了它是目前最重要、产量最 大、发展最快、用途最广泛的一种半导体材料。 2014-11-16 应用简介 晶体硅太阳电池链 2014-11-16 2014-11-16 单晶硅生长的原材料:多晶硅原料的制备 技术 *地球上Si材料的含量丰富,它以硅砂的Sia:状态存在 于地球表面。从硅砂中融熔还原形成低纯度的Si是制造 高纯度Si的第一步。将Si仇与焦炭、煤及木屑等混合, 置于石墨电弧炉中在1SD0℃-2000℃C下加热,将氧化 物分解还原,可以获得纯度为98%的多晶硅。