SEM-操作使用手册讲解学习.docx

Zeiss Supra55（VP扫描电子显微镜 简明操作指南 一、开机说明 冷启动步骤 1、 启动UPS 打开墙上空气开关，确认 UPS后面电池开关打开，按前面面板上 On键至两个绿灯亮。 2、 启动循环水冷机。 按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。 检查岀水口压力在 2?3bar。岀水口压力可由压力表下方阀门调节。 若有报警，检查水位，按 Res键。 3、 启动空气压缩机。 确认空气压缩机上启动阀门上开关为 I”状态。检查输岀气压为 5?6bar。 4、 确认主机后两个电源开关状态为 On。 此时，主机前面板上红灯亮。 5、 按下黄键。 说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。 6、 按下绿键。 按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码： 7、 启动SmartSEM软件。 用户名： system 密码： 8、 检查真空值，等待真空就绪。 ，并启动离子泵。△注意：当 System Vacuum2 x 10-5mBar 时，会自动打开 CIV 阀门（column isolation valve）当Gun Vacuum=5 x 10-9mBar时，可启动灯丝。若长期停机，需做烘烤。 ，并启动离子泵。 9、 开启灯丝。 10、 开TV,检查样品台。 11、 装样品（见第二部分）。 12、 加高压（EHT）。 13、 观察样品。 待机状态 1、 关闭高压（E