MEMS光开关的研究及市场分析.docx

MEM光开关的研究及市场分析 2绫〃 ?李 集成电路专业学年论文 论文题目：MEMS光开关的研究及市场分析 学 院：电 子工程学院 年级:2008级 专 业：集成电路设计与集成系统 姓 名：刘欣 学号指导教师：窦雁巍 2011年7月2日 摘要 光开关是光通信网络的重要功能器件，MEMS光开关是最具发展前景的光开关之 一。在简介不同种类光开关原理特点的基础上，详细分析了当前主要的 MEM光开 关的分类、结构、工艺与性能特点，并给出了研究与发展情况和采用 MEM体硅工 艺制作的三种结构的微机械光开关。它们的工作原理都基于硅数字微镜技术。这三 种光开关采用了静电力驱动，具有较低的驱动电压。在硅基上制作了光纤自对准耦 合槽，并对光开关的开关特性进行了计算机模拟与分析，并进行结果分析。 关键词 微机械；光开关；开关阵列；微镜；硅-玻璃键合；光纤通信 I Abstract Optical switch is an important functional device in optical fibre com muni cati on n etworks, MEMS optical switch is one of the most promiseful optical switches. This paper introduces basic principles and characters of several kinds of optical switches, and illustrates the classification, structures, fabrication methods and functional characters of current MEMS optical switch in details. And recent development and progress on this research area are presented and three kinds of MEMS optical switches with different mechanical structures are produced by the bulk-micromachining processes. Their principles of operation are all based on silicon digital micro mirrors technology. The electrostatic actuators with low driving voltage are used in the three kinds of optical switch. The grooves used for optical fibers being selfaligned coupling are made on silicon substrate for device. Computer simulation and analysis of on-off characteristic show that the second and the third optical switches have switching time. Key words MEMS; optical switch; switch array; micro mirror; silicon-on-glass bonding;optical fiber communication II 目录 摘 要 I Abstract II 3 章 光开关的种 类 4 物理效应光开 关 4 固态波导光开 关 4 液晶光开 关 4 热光开 关 4 全息光栅开 关 5 微机械光开 关 5 14 14 光路遮挡型MEM光开 关 6 1.2.2移动光纤对接型MEM光开 关 6 1.3微镜发射型MEM光开 关 7 弹出式微镜光开 关 8 扭转式微镜光开 关 9 滑动式微镜光开 关 10 三维阵列光开 关 11 第二章 微机械光开关的原理、设计与分 析 MEMS光开关的工作原 理 14 水平驱动2D光开 关 14 2.1.2垂直驱动2D光开 关 14 2.1.3扭摆驱动2D 3D光开 关 15 2D与3D耦合方 式 15 分析与设 计 16 水平驱动2D光开 关 16 2.2.2垂直驱动2D光开 关 17 22 22 扭摆驱动 2D、3D 光开 关 18 实 验