精密加工及精密加工机床.ppt

超精密加工机床 Company Loge 目录 超精密机床发展概况 ② 典型超精密机床简介 超精密机床关键部件 超精密机床工作环境 我国高档机床进展和问题 超精密机床发展概况 1.1精密与超精密加工地位 是一个国家制造业水平重要标志 例:美国哈勃望远镜形状精度0.01μm 是先进制造技术基础和关键 例:飞机发动转子叶片加工误差从60μm降至12μm,表面粗糙度由 0.5μm减小到0.2μm发电机压编效率从8%提高到94% 是新技术的生长点 精密制造涉及多种基础学科和多种新兴技术,其发展将会带动和促进 这些相关科学技术的发展 120712-086世界机床产值前20名企业新排名 排序 公司名称 国别截止财政年度 机床产值(百万美总产值(百万美元) 通快 2770.6 山崎马扎克 本 2008.03 604 吉德受 2141.2 2141.2 天日 918.6 2302.5 1877.4 1877.4 森精机 日本2008 捷泰克特 日本2008.03 1524.6 10163.7 1430 大连机床 中国 007 1419.4 1448.4 沈阳机床 中国200.12 331.5 1331.5 斗山英維高 韩国2007.12 85.2 3479.7 阿奇夏米尔 983.6 3751.6 964.8 14 牧野 日本|2008.03 896.2 1165.4 美国2007.12 维 亚(WIA) 007 因代克斯 德国2007.12 675.8 2007.12 1257.2 Cp20 pany Le斯莱福临 德国200 622.3 2194.6 二、典型超精密机床简介 超精密加工技术起步最早的国家是美国,是迄今为止处于世界领先地位 的国家,其次是欧洲的一些国家及日本。美国至少有30多个研究单位和厂家 研制和生产各种超精密加工机床,摩尔公司、联合碳化物公司、国家劳伦 斯·利佛摩尔实验室、杜邦公司等在国际上均久负盛名。至今为止,世界上 加工精度最高的3台大型超精密机床分别是美国L国家实验室生产的DTM 3型卧式大型光学金刚石车床、L0DM型立式大型光学金刚石车床和英国 Cranfield公司研制成功的0AGM-2500型超精密机床。 2.1 LODTM型立式大型光学金刚石车床 Large machines and Capabilities Diamond Turning Machine 3( 3) pacity, 2.3-m diametral Independent kinematic metrology Oil shower thermal isolation Large Optics Diamond Turning Machine (LODTM) Vertical axis lathe 1.5-m diametral by 0.5-m axial capacity Fully compensated motion control 25-nm rms acc uracy L0DTM型立式大型光学金刚石车床是全世界精度最高的超精密机床 该机床分别可以加Φ2100mm、质量4500kg和Φ1625mm、质量1360kg的 工件。采用了恒温油淋浴系统,使油温控制在(20±0.005)℃,消除了 加工中的热变形,定位精度28mm,已实现了距离超过1m而直线度误差 只有土25mm的加工,可用于加工平面、球面及非球面激光核聚变工程 的零件、红外线装置用零件以及大型天体望远镜 compa 2.2 Nanoform250超精密加工系统 既能进行超精密车削,又能进行超精密磨削,还能进行超精密抛光,能 直接磨削出满足光学表面质量和面型精度的硬脆材料的光学零件。最大加工 工件直径250mm,通过一个升高装置,可使机床的最大加工工件直径达到 Φ450m,另外通过控制垂直方向的液体静压导轨(Y轴),还能够磨削非辅对称 的零件。0Ns实时操作数控系统的直线編程精度为0.01m,角度编程精度为 度10度,直线静压导轨的位置反馈分辦率0.016mm,进给速率为 4000m/min,加工工件的面型精度小于0.Ium,表面粗糙度Ra优于1m N OAGM 2500大型赶 精密机床 2.3国内超精密机床现状 我国北京机床研究所是国内进行超精密加工技术研究的主要单位之 。2002年为军工某单位开发研制的ν SPHER200C超精密球面加工机 床”,薄壁(1mm)球面零件的批量加工表面粗糙度达Ra10nm,最好件可 达3nm。哈尔滨工业大学成功研制了HCM-亚微米超精密加工机床。加工 的零件精度0.2μm,表面粗糙度优于Ra0.02m。航空航天工业部303所、 清华大学、华中理工大学、沈阳第一机床厂、成都工具研究所、国防科技 大学等都进行了这一领域的研究,