透射电镜的讲义.ppt

第二章量电镜 21引言-电子光学基础 光学显微镜的发明为人类认识微观世界提供 了重要的工具。随着科学技术的发展,光学显 微镜因其有限的分辨本领而难以满足许多微观 分析的需求。上世纪30年代后,电子显微镜的 发明将分辨本领提高到纳米量级,同时也将显 微镜的功能由单一的形貌观察扩展到集形貌观 察、晶体结构、成分分析等于一体。人类认识 微观世界的能力从此有了长足的发展。 透镜分辨率 指显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离 光学透镜分辨率的公式: An=0.612 nsIn a 式中:A是照明束波长,可是透镜孔径半角,n是物方介质 折射率,nsna或NA称为数值孔径。 对于光学透镜,当 nesin a做到最大时n≈1.5,a≈70-75°) Aro 2 波长是透镜分辨率大小的决定因素。 透镜的分辨本领主要取决于照明束波长A。半波长是光学显 微镜分辨率的理论极限。若用波长最短的可见光(A=390nmn)作 照明源,则 ≈200r 200nm是光学显微镜分辨本领的极限 如何提高显微镜的分辨率 根据透镜分辨率的公式,要想提高显微鏡的分辨率,关键 是降低照明光源的波长。 顺着电磁波谱朝短波长方向寻找,紫外光的波长在13 390nm之间,比可见光短多了。但是大多数物质都强烈地 吸收紫外光,因此紫外光难以作为照明光源。 更短的波长是X射线(001~10nm)。但是,迄今为止还没 有找到能使X射线改变方向、发生折射和聚焦成象的物质, 也就是说还没有X射线的透镜存在。因此X射线也不能作为 显微镜的照明光源。 ·除了电磁波谱外,在物质波中,电子波不仅具有短波长 而且存在使之发生折射聚焦的物质。所以电子波可以作为 照明光源,由此形成电子显微镜。 电子波长 根据德布罗意( de Broglie)的观点,运动的 电子除了具有粒子性外,还具有波动性。这一点 上和可见光相似。电子波的波长取决于电子运动 的速度和质量,即 h 式中,h为普郎克常数:h=6626×1034J.s; m为电子质量;ν为电子运动速度,它和加速电 压U之间存在如下关系: 即 2el 式中e为电子所带电荷,e=16×101°c。 将两式整理得: h 1.226 eml 单位是n 单位是V 不同加速电压下的电子波波长 加速电压UKv电子波波长Mm加速电压U/KV电子波波长Mnm 0.00859 120 0.00334 40 0.00601 160 0.00285 60 000487200 0.00251 80 00.00142 100 0.003711000 0.00087 电磁透镜 电子波和光波不同,不能通过玻璃透镜会 聚成像。但是轴对称的非均匀电场和磁场 则可以让电子束折射,从而产生电子束的 会聚与发散,达到成像的目的 ·控制电子束的运动在电子光学领域中主要 使用电磁透镜装置 电磁透镜 ·短线圈磁场中的电子运动 显示了电磁透镜聚焦成像 的基本原理。电子运动的 軌迹是一个圆锥螺旋曲线, 最后会聚在轴线上的一点。 实际电磁透镜中为了增强 E-虚统时困示意烈 磁感应强度,通常将线圈 置于一个由软磁材料(纯 铁或低碳钢)制成的具有 内环形间隙的壳子里 电子轨迹一 铜导线 软铁壳 磁力线 电磁透镜的像差及其对 分辨率的影响 最佳的光学透镜分辨来是波 目前还远远没有达到分辨率 般长 对于电磁透镜来说 以日立H800透 射电镜为例其加速电压达是200K,若分辨率是波长的 H800透射 电镜的点分辨率是0.45m,与理论分辨率相差约360倍。 透镜的实际分辨本领除了与衍射效应有关以外,还与透镜 的像差有关 光学透镜,已经可以采用凸透镜和凹透镜 来矫正像差,使之对分辨本领的影响远远小 ￥得翕数 影响 但电壬透镜只有会聚透,坐有发款透镜≠所以至全 没有找到 分辨本领的限制就不容忽略了。 由于像差的存在,使得电磁透镜的分辨率低于理论值。电 磁透镜的像差包括球差、像散和色差。 ·电镜的像差为:球差、像散、色差。其中 球差不可消除且对电镜分辨率影响最显著; 像散可以消除;色差的影响是电压波动和 样品厚度不均 球差 球差是因为电磁透镜近轴·球差是像差影响电磁透镜分辨 区域磁场和远轴区域磁场 率的主要因素,它还不能象光 对电子束的折射能力不同 学透镜那样通过凸透镜、凹透 而产生的。 镜的组合设计来补偿或矫正 像平面2 原来的物点是一个几何远轴电子1近轴电子 像平面1 点,由于球差的影响现在 变成了半径为△rs的漫散 圆斑。我们用△rs表示球 差大小,计算公式为: 最小散焦圆斑 勿镜 球差系数越大,由球差决定的分 球差系数 辨本领越差,随着a的增大,分 辨本领也急剧地下降