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项目名称： 项目名称： MEM规模制造技术基础研究 项目名称： 项目名称： MEM规模制造技术基础研究 首席科学家： 王跃林 中国科学院上海微系统与信息 技术研究所 起止年限： 2010.9 至 2015.9 依托部门： 中国科学院 海市科委 PAGE PAGE # PAGE PAGE # 二、预期目标 1、总体目标 本项目针对我国 MEMS 走向产业化遇到的规模制造能力薄弱的瓶颈问题， 通过产学研用结合的方式， 开展多物理场作用下的微机械结构应力、 微机械结构 特性与工艺精度的关系、多材料多物性的兼容以及工艺质量评价方法等 MEMS 规模制造技术基础问题的研究工作。 突破涉及规模制造的一致性、 重复性、 可靠 性等关键基础问题，为 MEMS 的规模制造提供工艺设计、工艺建模、工艺监控 和工艺机理等技术基础，并将项目成果在我国主流 MEMS 企业示范应用，推动 我国 MEMS 规模制造技术平台的建设， 培养一批 MEMS 方面的高水平中青年专 业人才，促使我国 MEMS 规模制造能力的大幅度提升，带动我国 MEMS 和硅 基微纳光机电系统的产业化。具体来说，将产生以下效果： 促进我国 MEMS 规模制造能力大幅度提升： 项目基础研究成果将移植到三家以上中的核心技术，形成我国的规模制造能力，MEMS 项目基础研究成果将移植到三家以上 中的核心技术，形成我国的