单晶炉热场结构演示.ppt

//o/产/7/AE 单晶炉热场结构 培训对象:硅单晶制取工 培训讲师:詹文平 硅单晶分厂 Evaluation only. ch Asposeslides for NET 4o dient P Evaluation only. Created with Aspose Slides for NET 4.0 dient Profilo 71 Copyright 2004-2017Aspose Pty L 内容 三1热场结构 热场的结构示意图;各部件介绍 ≡2热场的安装和煅烧 热场的安装;热场水平与中心调整;热场的煅烧 热场的温度梯度 热场的概念;温度梯度的概念; 静态热场的温度分布;动平衡态热场的分布 晶体生长的温度梯度:径向温度梯度与纵向温度梯度 Evaluation only. ch Asposeslides for NET 4o dient P Evaluation only. Created with Aspose Slides for NET 4.0 dient Profilo 71 Copyright 2004-2017Aspose Pty L 热场结构 ≡热场的优劣对单晶硅的质量有很大影响。合适的热场 ,能够生长出高质量的单晶。不好的热场容易使单晶 变成多晶,或者根本无法引晶。有的热场虽然能够生 长单晶,但质量较差,有位错和其它结构缺陷。因此 找到较好的热场条件,配置最佳的热场,是非常重 要的直拉单晶工艺技术 ≡热场有大有小,它是按照所用的石英坩埚的直径大小 来划分的,目前国内热场从￠12”~￠28都有,但 以￠18~￠22居多。 Evaluation only. ch Asposeslides for NET 4o dient P Evaluation only. Created with Aspose Slides for NET 4.0 dient Profilo 71 Copyright 2004-2017Aspose Pty L 热场结构 ≡直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了 熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整 个系统 ≡热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩 埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导 流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极 托杆、都设置了保护板、保护套。 Evaluation only. ch Asposeslides for NET 4o dient P Evaluation only. Created with Aspose Slides for NET 4.0 dient Profilo 71 Copyright 2004-2017Aspose Pty L 上保温罩 执 中保温罩 场 石墨坩埚(三瓣埚 小 意 下保湿军 托杆护套 电极护查 图 Evaluation only. ch Asposeslides for NET 4o dient P alveton o Created with Aspose Slides for NET 4.0 dient Profilo 71 Copyright 2004-2017Aspose Pty L 加热器 三加热器是热场中很重要的部件 ,是直接的发热体,温度最高 的时候可以达到1600℃以上。 常见的加热器有三种形状,筒 状、杯状、螺旋状。目前绝大 多数加热器为筒状,硅单晶分 厂CZ1#厂房使用的是直筒式形 状的加热器。右图为加热器。 Evaluation only. ch Asposeslides for NET 4o dient P Evaluation only. Created with Aspose Slides for NET 4.0 dient Profilo 71 Copyright 2004-2017Aspose Pty L 加热器 般情况下,加热器是高纯 石加工,每 圆筒各位 组,纵向开缝分瓣,组成 串臻囊两组并联后形成 右下图是倒立的加热器,由 图可知,在加热器下面有两 个達晰的连接孔,这些孔是 接石 Evaluation only. ch Asposeslides for NET 4o dient P Evaluation only. Created with Aspose Slides for NET 4.0 dient Profilo 71 Copyright 2004-2017Aspose Pty L 石墨电极 三石墨电极的作用,一是平稳的 固定加热器,二是通过它对加 热器输送电流,因此要求电极 电极图 厚重,结实耐用,它与金属电 极和加热器的接触面要光滑 平稳,保证接触良好,通电时 不打火。石墨电极也是有高纯 石墨加工而成。 三右上图为石墨电极示