GE涂层坩埚外观检查标准.docx

v1.0可编辑可修改 v1.0可编辑可修改 PAGE PAGE # v1.0可编辑可修改 v1.0可编辑可修改 PAGE PAGE # 外观标准 #102 -污物（表面）（DRT） 定义: 在坩埚的内表面或外表面上的外来物质。如表面簿膜、灰尘、水斑或周边污染。 （见表面外业物质“暴露的夹杂物”） 规定:不可见 #104 -细裂纹或裂纹 （CRKX） 定义: 石英坩埚表面上的任何表面裂纹。 细裂纹是细的开裂线，其以“ V”形稍稍进入坩埚壁，当在检验灯下检验时，可以 看到是一亮线。裂缝稍大，可看到是一线性裂口或由撞击而成的一圆形表面图形 （有时呈彩虹色） 规定:不可见 #105 -崩边 （CHPX） 定义: 坩埚表面有部分埚壁缺损而形成的完整的碎裂。 1）内圈 定义: 内表面上距开口 10mm（英寸）内的崩边 规定: 没有未修补过的崩边、修过的崩边；其最大尺寸为 水平方面10mm垂直方面5 mm ）. 2）顶部圆周平面 定义: 坩埚顶部园周平面内一完整的缺损(透明区域) 规定: 没有未修补过的崩边，修过的崩边；其最大深度为 mm (.028) 外圈 定义: 坩埚外表面上自顶部开口端起( )内的崩边。 规定: 无未修补的崩边、修过的崩边最大尺寸为 12 mm x 12 mm (.47). 修补必须符合最小壁厚规则，即开口端起 mm (1/4”)以下。 坩埚体内 定义: 在坩埚内壁上，低于开口端环形区的崩边，环形区指自开口端起 10mm ()以下。 规定： 不可见(修过的或未修过的) #109 -划道/擦伤 (SCR) 定义: 坩埚壁上，裸眼可见的，任何破坏内壁光泽的线条。(注：“破坏光泽”可 用 非金属探针所受阻力探知) 规定: 1) 擦伤：没有使内表面光泽破坏或明显变暗的擦伤。 2) 划道：没有大于宽度的划道。 #112 - 气泡(BUB), (DBUB) or (DMBB) 定义：在环形区以下，存在于石英中的球形空洞(穴) 规定：1)侧壁(W1)或角处壁(W2) a)没有超过的。 v1.0可编辑可修改 v1.0可编辑可修改 v1.0可编辑可修改 v1.0可编辑可修改 PAGE PAGE # 2） 底部壁（W3） a） 没有超过的。 b） 超过的不多于2个。 3） 总的限定（W1, W2, or W3） a） 在任何1圆周内，超过的，不多于3个。 b） 在任何6 X 6面积内（复合气泡除外），超过 0 .020的不多于20个 （DMBB）c）在任何1的圆周内，由于气泡而形成的凹坑不多于 5个。 （DBUB）d）没有含有夹杂物或变色的气泡。 #112A -气泡团（采用单个气泡规则#112规则） 一个以上的气泡紧密集合成团或连在一起成为类似一个大的气泡，不在气泡团内, 至少带有一个超过的泡，可参见气化物#124C和气泡层#112G 规定: a）将整个团视作一个大的气泡处理（缺陷#112）. b）气泡团必须没有应力（见缺陷#134）. #112B -开口气泡(OBB) 1） 外表面 定义： 坩埚面内破坏正常表面状态的一个孔洞。 规定： a) 不论深度，没有直径超过（2mrh的 b) 没有深度超过壁厚1/3的。 2） 无光泽的内壁孔洞 定义： 在内壁上像孔洞一样的凹陷，孔的周边尖锐状（如刀刃） 规定: 不可见 3） 有光泽的内壁孔洞 （定义参见#124C气化物） 定义: 在内壁上像孔洞一样的凹陷，孔的周边为圆形，底部有光泽 规定：a） 不论深度，没有直径超过（2mr）i的 b） 没有使坩埚壁减薄超过的凹陷。 #115 - 波纹（波状的/凸起/凹起）（RIP） 定义: 通常在坩埚内表面上的一种平滑而像波浪一样起伏的外观。“波纹”准则的限定范围 也适用于内，外表面上的凹陷或凸起。 限定范围：1）在整个坩埚上不允许有使埚壁厚超出公差的波纹，凹陷或凸起。 2）在任何1长度范围内不允许有使壁厚变化大于 的波纹（在多自的 W1 W2和 W3壁上） 3） 在任何1长的范围内（每一壁区 W1 W2或 W3内的两处）不允许有 两处以上的使壁厚变化大于 的波纹存在。 注1:这一规则不适用于附着物或环形区崩边的研磨修补，它们包括在各自的缺陷标准内。 #116 -外表精度 定义：外径表面状态 限定:不允许有松散的物质（有细粒的） #119 - 环形区顶部平边（PCTX “切口粗糙” 定义： 环形平面太窄或太宽 限定范围： 1）滚压过的边缘（RE圆形环边）2-4mm平边（除非另有规定） 2）切割边缘（CE最小平面为 （除非另有规定） #122 -光泽差 定义： 指内表面的状态，用肉眼在标准的检验状态下（40瓦荧光灯），玻璃状的表面呈 暗淡状。这些例子可能包括由于直接在内表面上喷砂造成的无光泽表面，或由过度 酸洗或溶融时的污染造成的。