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光学轮廓仪能测参数
内容来源网络，由“深圳机械展（11万㎡，1100多家展商，超10万观众）”收集整理！
更多cnc加工中心、车铣磨钻床、线切割、数控刀具工具、工业机器人、非标自动化、数字化无人工厂、精密测量、3D打印、激光切割、钣金冲压折弯、精密零件加工等展示，就在深圳机械展.
光学轮廓仪技术指标?
??系统配置及功能?1.1PSI(相位移测试模式）?1.2VSI(垂直方向扫描测试模式)
??不同放大倍率物镜：2.5X、10X、50X
??气浮防震平台，一体化设计，保证最好的测试条件?
??200mm?全自动样品台，可程序化控制，样品可容纳大于300mm
??可装配4个物镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜
??可装配3个目镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜?
??双ＬＥＤ光源，分别有白光和绿光光源，此设计能够避免使用绿光光源时， 使用滤镜的方式产生系统误差．?
??全自动调整干涉条纹?
??大面积缝合功能软件?
?噪音：RMS0.3?(垂直方向)，框架式结构??
Z方向测试范围0.1nm?到10mm
Z方向分辨率0.01nmRa，RMS重现性0.004nmss
?样品反光率1to100%
?垂直方向扫描速度?92.5微米/秒?
?倾斜调制范围，±6°（Tip/TiltintheHead光学测量头整体调节）?
?闭环控制扫描：0.1nm?到10mm?全范围实现闭环扫描，而非压电陶瓷垂直 方向拼接方式，能够保证扫描的全范围精度．?
?自校准功能:?提供激光参比信号,实现仪器自校准,提高重复性，此设计能够 使得在测量过程中，具有可溯源装置，保证每个量程的精度，而非在某个量程的校准方式．?
18.??提供具备证书的标准样品：PSI?模式光滑平面?（SIC)
内容来源网络，由“深圳机械展（11万㎡，1100多家展商，超10万观众）”收集整理！
更多cnc加工中心、车铣磨钻床、线切割、数控刀具工具、工业机器人、非标自动化、数字化无人工厂、精密测量、3D打印、激光切割、钣金冲压折弯、精密零件加工等展示，就在深圳机械展.
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