§3-2 压阻式电阻传感器
一、半导体压阻效应
半导体材料有明显的压阻效应,即
半导体材料的电阻率随作用应力而变化。
dR d
(12)
R x
d
E
x
π 压阻效应系数
E 弹性模数
实验表明:πE1+2
半导体应变片的灵敏系数
dR
R
K E
B
x
二、结构
同一半导体材料的压阻效应与其晶向有
关。
三、温度误差补偿
四、转换电路
五、压阻式传感器应用
工作过程演示
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压阻式加速度传感器
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