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地址:长沙市天心区青园路7号 邮编:410004 电话:0731—5582668 传真:0731—5582679 网址: GQET-602碱性蚀刻液 系统简介 GQET-602碱性蚀刻液是针对高密度细线路而研制的,它具有低侧蚀,低PH值的特性,可适应于以干膜做为蚀刻阻剂的内层蚀刻及细线路的蚀刻。 工作原理:操作时蚀刻母液在蚀刻机内直接喷洒于P.C.B.上,将不需要的多余铜咬蚀掉。随着铜被蚀刻掉,母液的比重愈来愈大,而带动比重控制器浮球上升。当比重达到某一程度时即启动自动添加系统。子液添加入母液中,将多余母液排出。由于子液的添加,比重逐渐降低,而当浮球降至某一程度时,自动添加系统即自动停止。 上述循环将在蚀刻过程中一再重复,而子液中不含铜,母液则于一开始配槽建浴后,即可永久使用不需换槽。 规格与操作条件 1、子液规格 外观:透明澄清无色液体 比重(25℃): 1.04±0.02 氯离子含量: 160±10g/l OH -: 5.1~5.4mol/L 母液操作条件 操作范围 最佳条件 PH值(25℃): 8.0~8.6 8.2 比重(49℃): 1.170~1.190 1.180 铜 含 量 : 145~185g/l 155g/l 温 度 : 44~50℃ 47℃ 氯离子含量: 155~185g/l 170g/l 蚀铜速率 : 65.8~75.4um/min(依设备与温度而异) 操作设备 ◣ 结 构:工程塑胶,塑胶钢。 ◣ 加热器:石英加热器,钛加热器。 ◣ 冷却管:钛冷却管,塑胶冷却盘管。 ◣ 抽 风:建议使用风量100—500CFM抽风机,并于管路加装调整风量挡板。 ◣ 电 器:所有电控装置均应密封避免腐蚀。 产品特性 1、蚀刻液的组成: 子液:氢氧化铵(氨水)、氯化铵、蚀刻加速剂、护焊剂、锡铅保护剂。 地址:长沙市天心区青园路7号 邮编:410004 电话:0731—5582668 传真:0731—5582679 网址: 母液:除子液成份外,另加145g/l铜。 2、蚀刻基本反应式:Cu(NH3)4 Cl + Cu → 2Cu(NH3)2Cl (蚀刻液) (金属铜) (一价铜) 2Cu(NH3)2Cl +2NH4Cl + 2NH4OH+O2 →2Cu(NH3)4Cl+3H2O (一价铜) (蚀刻液) 简言之: Cu++ + Cu0 → 2Cu+ (蚀刻液) (金属铜) (一价铜) 2Cu+ + O2 → 2Cu++ +2O- (一价铜) (蚀刻液) 一价铜离子的存在,将会使得蚀铜速率降低。 3、抽风系统的影响: 由以上反应式可知:蚀刻过程中需要氧气来氧化一价铜为二价铜。当抽风不足时,将会使得一价铜无法迅速氧化成二价铜,而使得蚀刻速度变慢,并产生一价铜沉淀。若抽风过强,则会使得氨气大量放出,而造成氨离子大量不足,PH值无法提升,蚀刻速度降低等现象。 4、蚀刻液PH值的控制与影响: 一般而言,在蚀刻液中,影响PH值主要在于NH4Cl与NH4OH的含量,当NH4Cl含量不足时可能造成PH值一直偏高而无法降低,添加NH4OH则会使得PH值升高。故若PH不符合操作范围,则应依分析方法测得铜离子含量与氯离子含量,使回复到正常操作范围,再添加NH4OH调整PH值。 Cu(NH3)4Cl2 NH4OH ← PH值控制 → NH4Cl PH8.6 PH8.0 Cu(OH)2 CuOHxClx 淡蓝色、泥巴状之沉淀 深蓝色、砂粒状之沉淀 5、影响蚀刻因子(etching factor)的因素:蚀刻因子是评估药液侧蚀的重要方法,其定义为蚀刻厚度除以侧蚀深度。 F:=A/B F:Etching Factor A:蚀铜厚度 B:侧蚀深度 蚀刻因子愈高则代表侧蚀愈

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