表面分析技术.pptxVIP

表面分析技术原理和仪器; 是用一个探束(光子或原子、电子、离子等)或探针(机械加电场)去探测样品表面并在两者相互作用时，从样品表面发射及散射电子、离子、中性粒子(原子或分子)与光子等，检测这些微粒(电子、离子、光子或中性粒子等)的能量、质荷比、束流强度等，就可以得到样品表面的形貌、原子结构(即排列)、化学组成、价态和电子态(即电子结构)等信息。;表面“形貌”分析指“宏观”几何外形分析。主要应用电子、离子显微镜进行观察分析，当显微镜的分辨率达到原子级时，可观察到原子排列，这时“形貌”分析和结构分析之间就没有明确的分界。;场离子显微镜 (Field Ion Microscope，FIM）;表面组分分析包括表面元素组成、化学态及其在表层的分布测定等。后者涉及元素在表面的横向和纵向(深度)分布。主要应用：;电子探针 (Electron Micropobe，EMP);表面结构分析研究表面原子排列。;表面扩展X射线吸收精细结构 (Surface Extended X－ray Absorption Fine Structure，SEXAFS);表面电子态分析包括表面能级性质、表面态密度分布、表面电荷分布及能量分布等。主要有: ;角分解X射线光电子能谱 (Angle-Re-solved X-ray Phtoelectron Spectroscopy，ARXPS）;;表面分析技术和仪器简