气体质量流量控制器的结构和工作原理.pdfVIP

. 气体质量流量计 / 控制器的结构和工作原理 气体质量流量控制器（ Mass Flow Controller 缩写为 MFC）用于对于气体的质量流量进 行精密测量和控制；气体质量流量计（ Mass Flow Meter 缩写为 MFM）用于对于气体的质量 流量进行精密测量。扩散，氧化，分子束外延， CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及 真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维 制造设备中。并广泛用于石油化工，冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。 1、结构 MFM由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成，只能对气体质 量流量进行测量；在 MFM基础上加上调节阀构成 MFC，既可以对气体质量流量进行测量，也 能对流量进行控制。 2、工作原理 气流进入进气管道街头后大部分流量流过分流器通道，