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江西天能电力股份有限公司 工艺文件 江西天能电力股份有限公司 文件名称： 156 多晶硅片绒面制备工艺 文件编号： 版本： TNSC-01: 编制部门：技术部 生效日期： 页数： 1. 标题 156mm*156mm多晶硅片绒面制备和清洗甩干工艺。 2. 目的 2.1 清洗多晶硅片表面油污和损伤层、氧化层的去除。 2.2 在多晶硅片表面制备一个反射率较低的织构表面。 3.适用范围 适用于无锡市瑞能科技有限公司 DUZQJ-9000型多晶硅制绒清洗机及 QSJ-03 型清洗 甩干机。 多晶硅片绒面制备 ( 硅片型号： 156mm*156mm) 4. 定义 多晶硅在去清洗腐蚀后，目视硅片表面呈均匀的灰黑色，没有明显的斑点，多晶晶 界不明显。显微镜下，绒面形貌均匀，硅片表面无明显台阶。 5. 职责 5.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作； 5.2 在操作过程中遇到问题应及时向相关技术人员反应，相关技术员及时提供帮助。