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ATHLETE晶圆植球机新程序建立 ATHLETE植球机新程序的建立 一，准备工作 L 将机台TABLE改成我们所需要的尺寸， 如BL6212为8寸产品，就需要将TABLE 更换成8寸，详细见改机清洗规范 2,检査球具是否是我们所需要建立程序产 品的球具，若焊球成分，大小都相同则无需 更换；只要其中有一样不同就需要更换球 具，具体见改机清洗规范 3,更换相应的STENCIL,具体见改机清洗 规范 wafer上左右两个特殊点相对于MAP中心点 的坐标；3, MAP中心点分别相对于stencil 上左下角球和右下角球的坐标 /p /pAaBB-i-Qdtv-■ / 左下角最外侧一个球中心为测量STENCIL ± 第一个对位点 O： O O 0 Q O O ：t O G O O Q Q O OXP O ^/ w〔：巴丄厂宀^^ O C O C J O? O O C O O Q O O Q O O 以 ；d ° bFlw’c 2 =巳「3专。％歹\ 步/ \ Q O O O O O； ：Z Q O Q O O Q O O Q/ \ —\ // ， z i y 2 乂 dZ 「 手自动开关旋至MANUAL档，按 “HOME”进行原点复位 2,按“STOP”进入停止状态 NEW TYPE 3,选择“FILE”右侧显示功能菜单，选择 “NEW TYPE”来进行夕或8,产品原程序 的COPY,例