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- 2020-10-19 发布于山东
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大小孔偏调整作业流程
一、 机台水平确认:
1.1 静态水平:之要求 ±0.02mm/m
1.2 动态水平:一般装机用之空跑程序
设定 UP, 30mm
DN ,24mm Up 及 Dn 的设定相差 6mm 即可。
F(进刀速 ): 9m/min
U(退刀速 ): 25.4m/min
1.3 依下列顺序将水平螺丝锁紧
1→2→3→4→5→6→7→ 8→ 9→ 10
锁紧后以千分表量测每点的震动数据,建议调整震动于 20um 以下。日立标准 (10um)
二、 Z 轴相关精度点检
2.1
压力脚之大小轴衬请使用原厂铜轴衬 (强烈要求 )。
2.2
Z 轴原点之确认针尖到轴衬底端 1mm±0.1mm(0.9~1.1mm 相当重要 )。
2.3
SPINDLE 高度确认。
2.4
φ 200 之精度要求± 50um (最佳状况态调整于± 30um 以内 )
2.5
确认压力脚 Cylinder 确认是否耗损。将压力脚拆下后按 PF 确认左右 Cylinder 上下
动作是否一致,如没有可调整 Cylinder 进出 air 量,如调整后仍不行则需更换左右
Cylinder 。
2.6 确认压力脚之万向接头间隙。 一般新品间隙在 30um 以内,一般的要求在 200um 以
内 (最佳状况 100um 以内 )如超出请立即更换。
2.7 压力脚平衡,左右公差± 50um
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