(电子行业企业管理)T型扫描电子显微镜操作规程.pdfVIP

Tescan3 型扫描电子显微镜操作规程 1、开机：打开 N2 阀门 （1）开启并确认稳压电流： 220v 。 （2）打开电镜主开关，由 OFF 位转向 ON 位，等待计算机完 成启动。 （3）如果进行元素分析，则先打开 QUANTAX 程序，后打开 VEGA 程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。 （4）系统自动进行硬件、软件自检。 （5）单击 VEGA 中的 [PUMP] ，抽真空开始。 （6）待真空状态显示条由红变绿，真空度小于 10^-5torr 后， 即真空达到要求，单击 [HV] 接通电镜高压，开始观察样品和照像。 2、更换样品 （1）单击 [HV] ，切断高压。 （2）手动调节样品台，使其回到初始位置。 （3）单击窗口中的 [泄真空 ] ，样品室放空，调节合适的