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加工技术及其工艺设备童志义是微电子技术与机械光学领域结合而产生的是世纪年代初兴起的新技术是微电子技术应用的又一次革命性实验很有希望在许多工业领域包括信息和通讯技术汽车测量工具生物医学电子等方面成为关键器件把在衬底上的与集成在一起还可以产生许多新的功能但是制造的加工技术主要有三种第一种是以美国为代表的利用化学腐蚀或集成电路工艺技术对硅材料进行加工形成硅基器件第二种是以日本为代表的利用传统机械加工手段即利用大机器制造出小机器再利用小机器制造出微机器的方法第三种是以德国为代表的德文光刻电铸的塑铸三个词
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MEM加工技术及其工艺设备
童志义
MEMS是微电子技术与机械，光学领域结合而产生的，是20世纪90年 代初兴起的新技术，是微电子技术应用的又一次革命性实验。 MEMS很有希望 在许多工业领域，包括信息和通讯技术，汽车，测量工具，生物医学，电子等方 面成为关键器件，把在Si衬底上的MEMS与IC集成在一起， 还可以产生许
多新的功能。但是制造MEMS的加工技术主要有三种， 第一种是以美国为代表 的利用化学腐蚀或集成电路工艺技术对硅材料进行加工，形成硅基MEMS器 件；第二种是以日本为代表的利用传统机械加工手段， 即利用大机器制造出小机 器，再利用小机器制造出微
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