完整版晶体硅太阳能电池结构及原理.pptVIP

3.3.4 紫电池 紫外光电池的浅结也会带来两个新问题： ? 采用浅结会提高表面薄层扩散电阻 R ，必然使电池的串联电阻 Rs 增大， 加大功率损失。所以用 “ 密栅 ” 措施进行补救。 ? 应选择合适的减反膜与浅结密栅结构相配合，才能有效地提高短波光 谱响应。例如：用 SiO 2 膜作减反膜，则它对 0.4μm 以下波长的光有较 大的吸收，而使总的短波光谱响应的提高仍然受到影响。若改用 Ta 2 O 5 膜或用 ZnS/MgF 双层减反膜，都可以得到较好的结果 因而与常规电池相比，紫外光太阳能电池具有浅结、密栅及 “ 死层 ” 薄 的特征（如前图 (b) 所示），这种电池对短波长的光有特别高的灵敏度。 31 3.3.5 黑体电池 表面制绒，形成类似金字塔结构，降低表面反射率。 ① 光在金字塔表面向下方反射，增加一次光被吸收的机会 ② 光程增大。 ③ 更多的捕获光。 32 3.3.5 黑体电池 33 3.3.6 钝化 钝化工艺是制造高效太阳电池的一个非常重要的步骤。 没有进行钝化的太阳电池，光生载流子运动到一些高复合区域后，如 表面和电极接触处，很快就被复合掉，从而严重影响电池的性能。 采取一些措施对这些区域进行钝化后可以有效地减弱这些复合，提高 电池效率。一般来说，高效太阳电池可采用热氧钝化、原子氢钝化， 或利用磷、硼、铝表面扩散进行钝化。 34 3.3.6 钝化 钝化技术 - 体内钝化方案 ? 将杂质移动到无害位置（铝背场、发射区） ? 用氢钝化悬挂键，这些悬挂键位于晶粒边界、位错附近 35 3.3.6 钝化 钝化技术 - 体内钝化方案 36 3.3.6 钝化 钝化技术 - 表面钝化 ? 表面钝化，对裸露于太阳光照下的单晶硅太阳电池的表面，重要性不 言而喻。 ? 采用热氧化工艺，可很方便得到所需的表面钝化结果。但 SiO 2 的折射 率过低，很难同时满足高效电池有效减反和表面钝化的双重作用的要 求。 ? 以热氧化方式钝化，氧化层必须很薄（几个 nm) 。热氧化生长的氧化 硅作为表面钝化层。 37 3.3.6 钝化 表面钝化 —— 电极区域钝化 ? 电极和半导体表面接触区域都是高复合区，如果电极处电子运动完全 畅通，则电池性能最优，有三种技术： 1. 在电极区形成一个重掺杂区域将少子和电极区域隔离开来而达到钝 化结果，目前绝大多数高效电池都采用这种设计。 2. 尽可能缩小电极区来降低电极的影响，目前绝大多数的高效电池采 用了这种做法。 3. 采用一种电极接触模式，使其本征的电极区复合较小。如下图 MINP 电池 38 3.3.6 钝化 表面钝化 —— 电极区域钝化 电极区域钝化 39 MINP 电池（金属 - 绝缘体 -np 结）， 一种类似 MIS 结构的接触模式，这 层薄的氧化层位于金属电极下面， 可以有效降低其复合速率。 PESC （钝化发射极电池）将电池的转换 效率又提高了一步， PESC 的电极是直接 在氧化薄层上的细槽中制成，是通过缩 小电极区面积来增强电极区钝化的效果。 5.7.6 钝化 表面钝化 —— 电极区域钝化 ? 将表面制绒和 PESC 方法优势相结合，使硅太阳电池的转换效率在非聚 光状态下达到了 20% 以上。 40 3.3.6 钝化 表面钝化 - 电极区域钝化 ? 使电池性能得到更重要突破的是上下表面及电极区钝化的电池。 41 采用 CZ 硅晶片的 PERL 电池， 最高效率可达 21.7 ％，若採 用 FZ 硅晶片， PERL 电池目 前最高的效率可达 24 ％。 发射极钝化背面局部扩散 （ PERL ） 太阳电池 3.3.6 钝化 效率 24% PERL 的主要改善：在更薄的氧化物上使用双层减反膜以提高 短路电流密度；利用对上层氧化和局部点接触的退火过程以增加开路 电压；改善背表面的钝化和降低金属化接触电阻以增加填充因子。 42 3.3.6 钝化 43 新南威尔士大学 PERL 电池 ＝ 24.7% （ 25 ％） 北京太阳能研究所高效电池 ＝ 19.8% 3.4 高效太阳能电池 3.4.1 高效率单晶硅太阳能电池 埋栅电极太阳能电池 特点 是利用激光在金属电极接触位置刻蚀出 20 ～ 50um 深的沟槽结构，将 金属电极利用电镀方式埋入沟槽之中以减少金属电极的遮蔽效应，从而 降低串联电阻，效率可达 21.3% ，其大面积模块效率可达 17.5 ～ 18% 44 埋栅电池是为克服丝网印刷电池 的缺陷而开发的。该电池最有特 色的设计在于金属化是嵌入电池 表面的一系列狭窄槽内 3.4.1 高效率单晶硅太阳能电池 性能分析 埋栅电池效率高的原因如下： 1. 由于金属栅线导电性更好，与槽 内重扩散区的接触电阻更小，所 以填充因子更高 2. 表面顶层较高的薄层电阻，加上