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《薄膜光学与技术》期末测验试 题?B?答案 1?/?7 ————————————————————————————————?作者： ————————————————————————————————?日期： 2?/?7 个人收集整理，勿做商业用途 2014-2015?学年第?1?学期《薄膜光学与技术》期末考试试题（B?卷） 参考答案及评分标准 一、填空题（每空?1?分，共?25?分） 1、薄膜是指附着于基底，且与基底不同质的 非自持性 涂层。 2、镀制单层介质薄膜时，第二次看到相同的反射色时的膜层光学厚度是第一次 看到相同的反射色时膜层光学厚度的 3 倍。 3、K9?玻璃上的单层?MgF2?膜层与单层?ZrO2?膜层具有相同的反射色调时，MgF2 膜层的光学厚度 等于 （大于、小于、等于）ZrO2?膜层的光学厚度。 4、在折射率为?3.5?的材料表面镀单层减反射膜，材料最佳的折射率为：?1.8708?。 5、周期性对称膜系(pqp)s?的等效折射率和 基本周期/pqp 的等效折射率完全 相同，其等效位相厚度等于 基本周期的?s?倍 。 6、按照材料状态不同，一般将薄膜分为 固体 薄膜、 气体 薄膜和 液体 薄膜三类。 7、?Torr?和?Pa?是两个常用来表示真空度的单位，它们较为准确的换算关系为： 1Torr=133.3Pa 。 8、镀膜室内真空度高表明气体压强 小 ，真空度低则气体压强 大 。 9、由于极值点的判读精度不高，因此常常采用 过正控制 、?高级次监控 、 预镀监控片 等措施来提高极值法监控精度。 10、电子枪的?e?型枪是指电子束?出射后至坩埚表面的运动方向改变了?270?度 。 11、请写出常用的三种金属镀膜材料：?Au 、 Ag 、?Al 。 12、一般镀膜系统测量真空需要两个真空计：热电偶 真空计和 电离?真空计。 13、采用光电极值法监控膜厚，监控片为?K9?玻璃（折射率为?1.52），如果要镀 制单层?ZnS?薄膜（折射率为?2.35），监控的第一个透射率极值点应该是极大值还 是极小值： 极小值 。 14、能够直接用来抽大气的真空泵是 机械泵 。 15、热蒸发技术常用的蒸发源有 电阻蒸发源 和 电子枪 。 （二、判断题：先回答以下说法是否正确？然后说明理由或修改正确。?每题?4?分， （ 共?20?分） 3?/?7 ???1、膜层的有效位相厚度表示为：??? nd ???1、膜层的有效位相厚度表示为：??? nd?cos??，当光波斜入射时，对于?s?光和 2? ? p?光而言，要分别代入修正后的折射率值进行运算。 答：错误。当光波斜入射时，无论对于?s?光和?p?光而言，折射率值均是同一个值。 2、采用单半波滤光片结构，获得的通带波形比多半波滤光片更加接近矩形。 答：错误。采用多半波滤光片结构，获得的通带波形比单半波滤光片更加接近矩 形。 3、一般镀膜设备上需要机械泵和扩散泵组合起来作为真空机组，这主要是因为 双泵组合可以提高抽气速率。 答：错误。因为机械泵可以直接抽大气，但极限真空并不高，而扩散泵可以抽到 镀膜所需的真空度，但不能直接抽大气，也不能直接排气到大气，因此镀膜机上 采用双泵组合的方式才能完成抽气过程。 4、用于离子辅助镀膜的离子源，有产生离子束的，也有产生等离子体的。潘宁 离子源是一种典型的产生等离子体的离子源。 答：错误。潘宁离子源是一种典型的产生离子束的离子源。 5、测量镀膜样片的透射率时，将镀膜面向着光源和背对光源测得的结果不同。 答：错误。样片的透射率与光的传播方向无关。 注：正误回答正确得?2?分，理由正确得?2?分。 三、问答题?（每题?5?分，共?15?分） 1、什么是单层介质膜层反射率的双重周期性？其周期性的主要特点有哪些? 答：单层介质膜的反射率会随着薄膜位相厚度的变化而呈现周期性变化（2?分）； 当膜厚确定后，随着光波波长的变化，反射率会随之发生周期性变化（?2?分）。 随厚度变化的周期呈现间隔相等，而随波长变化的周期不等，波长越大，周期越 长。如将波长转化为光波频率，则随频率不同，反射率的周期是等间隔的（1?分）。 说明：周期性每正确一点?2?分，特点回答正确?1?分。 2、试叙述光电极值法监控膜厚的基本原理。 答：光通过正在镀膜的比较片时，随着薄膜厚度的增加，比较片的透射率（反射 率）会发生周期性的变化，且薄膜光学厚度每变化?λ/4时，透射率出现一次极值 （3?分）。利用光电测光方法测量正在镀制膜层的?T（或?R）随膜层厚度增加过程 4?/?7 个人收集整理，勿做商业用途 中的极值个数，可以获得以?λ/4为单位的整数厚度的膜层（2?分）。 3、影响膜层厚度均匀性的主要因素有哪些？ 答：蒸发源发射特性，由蒸发源结构、蒸发膜料不同的发射分布特性引起（3?分）； 蒸发源