第三章真空获得机械真空泵.docx

第5章真空获得（机械真空泵） 第5*曳空获得 ?真空泵概述 ?机械式真空泵 ■旋片泵 分子泵罗茨泵 ?气流泵 ■扩散泵 ?俘获泵 ?吸附泵 低温泵 升华泵 离子泵 什么是曳空泵7 ? This is not a trivial question! ?能对空间排气(减少气相分子数,产生低压空间)的设备 ?通过容积压缩排宅(Bulk action) ?机械压缩 ?动量传输(molecular action ) ?分子直接碰撞 ■夹带：和其他分子碰撞 ■降低空间气体分子浓度:气体分子储存在表面时间?＞实验时间 ■所有的真空泵都有一定的工作范围: ?压强 ?气体种类 ■降低空间气体分子浓度(钛泵、低温泵) ?排出气体:旋片泵 ?定向运动：扩散泵.分子泵、罗茨泵 ?"气体二极管〃 ?前进反向压力差 ?返流(back through-put)反扩散、脱附 ?真空泵：能够维持压力差的设备 按蜃抽氐方式今类 ?压缩性真空泵：将气体由一方压缩到另一方 ■禾I」用膨胀-压缩-排出原理:旋片泵 ?利用气体束流牵引作用：蒸汽流喷射泵 ?利用高速表面牵引分子作用：分子泵 ?吸附型真空泵：利用各种吸附作用将气体吸掉 ?利用电离吸气作用：离子泵 ?利用物理、化学吸附作用：吸附泵、低温泵、吸附剂泵 按蜃爲强范囱今类 ?粗真空泵： ?大宅压-10-3 torr ■旋片泵 ?旋转柱塞泵 ■滑片泵 ■吸附泵 ■罗茨泵 高真空泵 ? 10 ■3 to 10 ■11 torr ■扩散泵 ■低温泵 ■分子泵 ■离子泵 按蜃誹氐爲强今类 ?排气压强：泵在此压强下可以排气 ?往大气排气的泵 ?前级泵 ?前级压强 .旋片式机械泵 ?只往低于大气压的环境排气 .系统粗抽 ?需要前级泵（串联） ?扩散泵、分子泵、罗茨泵 ■束缚泵 ?不需要出气口 典锲泵饱 Rcughing F.mp Rcughing F.mp 粗抽:机械泵 主泵:扩散泵 前级:机械泵 夷空泵無俛的基漳泰数 ?抽气速率s（抽速） "击贏 ?单位时间流入泵内的气体量Q=S.P S=Q/P ?极限压强Pu ?经过足够长时间的抽气后,所能达到的最彳氐平衡压强 ?最大工作压强 ?泵能正常工作的最高压强 ?使用范围 ?具有抽气能力的压强范围 ?排气压强 ?这一压强下,泵可以可以工作排气 ?超高真空泵参数 .抽气选择性、残余气体组分 抽速曲钱 抽速s—般不是常数,随压强变化而变化 抽速范園 夷空泵的爲强范園 ——牙塞抽气 4 ?水坏'唏射抽气 . 能转抽气 吸附抽气 彳 罗茨泵抽气卜 q 喷射泵抽气 卜 彳 扩散抽气 卜 q 分子抽气 , 斗 离子抽气 比0 丄 低温抽气 (MW 44坦侏衆申回一te 離番扇—國圧二、W? ?出g壬超叵莒墨|< ?问题：S=60L/s的机械泵,对一个体积为10L的容器排气, 是否经过10/60S ,能将容器抽至P=0呢？ ?即使是S二常数的理想真空泵，答案也是否定的 ?容器内压强P随抽气降低,同一体积(V)对应的气体量(PV ) 越来越小 / s、 / s、 P = Po exp(- —0 V T —— S 时间常数越大，压强下降越慢，"惰性〃 反映系统和泵的综合性能 时间常数就是压强值将为1/e所需时间 压强降低1个数量级需要2.303个时间常数  ?液体泵 ■利用液体压缩和排气 斯普伦杰尔泵水喷射泵 斯普伦杰尔泵 水喷射泵 ?容积压缩泵 ?使用机械方法使一个工作室体积周期性的扩大和缩小达到 抽气目的 ■旋片式 ■滑阀式 ?最常用的粗真空泵 ?皮带泵和直联泵 ■单级泵和双级泵 ■实际上就是一个小型旋转压 缩机 Outlet Inlet 税片泵工作因 1. Induction 2- Isolaiion Four Stages m Cycle ol a Rotary-Vane Pump 眾乂抽速 ?几何抽速S『2?D；—Dt）Lj0 ?几何抽速 S『2?D；—Dt）Lj0 旋片式:D2=0.75-0.85D1 定片式:D2=0.80-0.90D1 滑阀式:D2=0.65-0.70D1 L :泵腔深度（摩擦力）L=0.5-2.0Dl 否则电动机功耗太高 j ：翼片伸缩频率一般j=450转/分 D2 :不能太小,否则旋片泵的翼片容 易断裂或密封不良 ?理想抽速 S” = 2 血 ％ ?理论上的极限压强 ?压缩比（排气口压强 与进气口压强比） ?机械泵油封 出三口 1 进三口 1 ?有害空间2定子3?转子4?旋片 机械泵油 ?功能?润滑剂? ?功能 ?润滑剂 ?密封剂 ■热传导/冷却 ■腐蚀防护 ?基本要求 liifriwi ?化学稳定性 ■ ?热稳定性 ?适当的润滑能力 ?适度的粘性 ?低饱和蒸汽压  矿物油 ?各种憾分混合 ?棕色-￥5/liter ?白色-￥20/liter ■氧化 合成