第3章薄膜制造技术.ppt

3). 结构及工作过程 31 6. 涡轮分子泵 ? 32 工作原理 ? 1 依靠高速运动的物体表面把 定向速度传递给入射表面的 气体分子 ，造成泵出口、入 口的 气体分子正向 、 反向传 输几率的差异 而产生抽气作 用。（ 30000 转 / 分）。 . 动 叶 轮 ； 2 . 泵 壳 ； 3 . 涡 轮 排 ； 4 . 中 33 ? ? 优点 ：无油，洁净，启动快，制动快，可忍受大气冲击。 缺点 ：由于高速旋转，不能在磁场中使用，否则会产生 涡流，导致叶轮发热、变形等严重后果，对氢气等轻质 气体抽速较小， 价格昂贵。 7. 低温冷凝泵 1). 工作原理 低温冷凝 34 空气中 ( 除 H 2 、 He) 气体的饱和蒸 气的液化点大于 4.2k 用液 He 冷却 ( 固体表面达 4.2k) 气体液化 低温吸附 在低温表面上粘贴一些固体吸附剂， 气体分子打到这些多孔的吸附剂上而被捕 集。 35 2) . 低温冷凝泵的特点 36 ① . 真正的无油真空泵：利用低温冷板来冷凝、吸附气体 而获得和保持真空，清洁无污染； ② . 抽速快 ： 特别是对 H 2 O 、 H 2 等气体抽速很大，因而排 气速度比其他真空泵快，大大