超纯水系统工艺流程大纲纲要图.docVIP

` C 自来水进水 P 取样 F 保安过滤器 不合格排放 P Pc P 原水箱 原水泵 机械过滤器 活性炭过滤器 软水器 盐箱 高压泵 反渗透装置 P F R 紫外线 紫外线 R F 杀菌灯 杀菌灯 F F 化学计量泵 用水点 纯水出口 P 调压阀 P P 过滤器 不合格排放 P 循环泵 FI 氮气瓶 0.1um过滤器 Fk C 浓水回流 Fk 极水 浓水 纯水 或排放 抛光混床 超纯水泵 氮封超纯水箱 极水排放 0.2um过滤器 纯水泵 二级EDI膜堆 符号说明: 不合格排放 P Pc F R C 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表  风机 脱气水箱 FK 流变控制开关 图 3 常用的一级 RO+二级 EDI+MB 电子 I 级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于 1000μ s/cm ），要求产水电阻率 18～ 18.2MΩ· cm的超纯水系统 Word 文档 ` C 自来水进水 P 取样 F 保安过滤器 不合格排放 P Pc P 原水箱 原水泵 机械过滤器 活性炭过滤器 软水器 盐箱 高压泵 反渗透装置 F P R 紫外线 紫外线 R F 杀菌灯 杀菌灯 F F 化学计量泵 用水点 纯水出口 P P P P 调压阀 过滤器 不合格排放 循环泵 FI 氮气瓶 0.1um过滤器 Fk C 浓水回流 Fk 极水 浓