第06讲 压电式力传感器.ppt

电荷量、电压、电容的关系为 因此，压电传感器还可以等效为电压源Ua和一个电容器Ca的 串联电路，如图 (b)。 Ua Ca (b) 二、压电传感器的等效电路 实际使用时，压电传感器通过导线与测量仪器相连接，连接导线的等效电容CC、前置放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci对电路的影响就必须一起考虑进去。当考虑了压电元件的绝缘电阻Ra以后，压电传感器完整的等效电路 压电传感器的实际等效电路 （a） 电压源; （b） 电荷源 二、压电传感器的等效电路 值得注意的是： 1、利用压电式传感器测量静态或准静态量值时，必须采取一定的措施，使电荷从压电晶片上经测量电路的漏失减小到足够小程度。而在动态力作用下，电荷可以得到不断补充，可以供给测量电路一定的电流，故压电传感器适宜作动态测量。 2、前置放大器的作用： （1）放大 （2）阻抗转换 电压放大器 电荷放大器 1、电压放大器 输入端电压： 1、电压放大器 放大器输入端电压幅值： 输入电压与作用力间的相位差： 1、电压放大器 时间常数 1、电压放大器 系统固有频率 系统高频灵敏度 由运算放大器构成的电压比例放大器 2、电荷放大器 电荷放大器原理图 电荷放大器的输出电压uo只取决于输入电荷与反馈电容Cf，与电缆电容Cc无关，且与q成正比，因此，采用电荷放大器时，即使连接电缆长度在百米以上，其灵敏度也无明显变化，这是电荷放大器的最大特点。 例1： 压电式测力传感器 压电式三向力传感器 §3 压电传感器的应用 电极结构 预紧力 例2： 压电式压力传感器 压电陶瓷：弹丸起爆装置——破甲弹 例3：压电引信 /AMuseum/weapon/html/bingqizhishi/danyao/yinxin874.html 产品过载冲击试验 跌落高度h 被冲击介质：钢、橡胶、塑料、木块 加速度 产品 例4：冲击试验台的标定和检测 事故性碰撞：点火信号、电点火管、气体发生剂、 气体、充气、弹性体 例5：汽车安全气囊系统 Page ? * 传感器与检测技术教程 传感器与检测技术教程 * 第6讲 压电式传感器 压电器件 受力、表面形变 电荷 §1　压电效应 Piezoelectric Effect 雅克·居里（Jacques Curie）（1856年10月29日-1941年），法国物理学家，蒙彼利埃大学教授。 皮埃尔·居里 (Pierre Curie) (1859 -1906) 居里兄弟 他们发现了一些晶体在某一特定方向上受压时，在它们的表面上会出现正或负电荷，这些电荷与压力的大小成正比，而当压力排除之后电荷也消失。 1881年，他们发表了关于石英与电气石中压电效应的精确测量。 1882年，他们证实了李普曼(G．Lippmann)关于逆效应的预言：电场引起压电晶体产生微小的收缩。 利用压电现象，他们还设计了一种压电石英静电计——居里计。 某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。 F － － － － － － ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ F F F ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ － － － － － － §1　压电效应 Piezoelectric Effect 反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 逆压电效应 电能 机械能 正压电效应 纵轴Z称为光轴，通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴，与X-X轴和Z-Z轴垂直的Y-Y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。 1. 石英晶体的压电效应 石英晶体的晶轴 （a） y x z O x a z y b c （b） 把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应” 把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应” 沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应 压电式传感器主要是利用纵向压电效应 1. 石英晶体的压电效应 硅氧离子的排列示意图 (a) x y (b) + x y + + - - - 石英晶体产生压电效应的微观机理 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 (a) Fx=0 x y + P1 P2 P3 - - + + - 因为P = qL（q为电荷量，L为 正负电荷之间的距离），此时