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实验一 真空蒸发和离子溅射镀膜 随着材料科学的发展，近年来薄膜材料作为其中的一个重要分支从过去体材料一统天下 的局面中脱赢而出。如过去需要众多材料组合才能实现的功能， 现在仅需数几个器件或一块 集成电路板就能完成， 薄膜技术正是实现器件和系统微型化的最有效的技术手段。 薄膜技术 还可以将各种不同的材料灵活的复合在一起， 构成具有优异特性的复杂材料体系， 发挥每种 材料各自的优势，避免单一材料的局限性。薄膜的应用范围越来越宽，按其用途可分为光学 薄膜、微电子学薄膜、光电子学薄膜、集成光学薄膜、信息存储薄膜、防护功能薄膜等。目 前，薄膜材料在科学技术和社会经济各个领域发挥着越来越重要的作用。 因此