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第六章电子東和离子東加工 第六章电子束和离子束加工  第六章电子東和离子東加工 6.1电子束加工 电子束加工原理和特点 (一)加工原理 电子束加工是利用高速电子的 冲击动能来加工工件的,如图6-1 所示。在真空条件下,将具有很高 速度和能量的电子束聚焦到被加工 材料上,电子的动能绝大部分转变 学 为热能,使材料局部瞬时熔融、汽 化蒸发而去除。 图6-1电子束加工原理 工件2—电子束3一偏转线阁 4—电磁透镜 2  第六章电子東和离子東加工 控制电子東能量密度的大小和能量注入时间,就 可以达到不同的加工目的。如只使材料局部加热就可 进行电子束热处理:使材料局部熔化就可以进行电子 束焊接;提高电子束能量密度,使材料熔化和汽化 就可进行打孔、切割等加工;利用较低能量密度的电 子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理,即可进 行电子束光刻加工。  第六章电子東和离子東加工 (二)电子束加工特点 (1)可进行微细加工。 (2)非接触式加工。 (3)电子束的能量密度高,加工效率高 (4)整个加工过程便于实现自动化 (5)加工在真空中进行,污染少,加工表面不易被氧化 (6)电子束加工需要整套的专用设备和真空系统,价 格较贵  第六章电子東和离子東加工 二.电子束加工装置 电子束加工装置的基本结 构如图所示,它主要由电 子枪、真空系统、控制系 统和电源等部分组成 抽真空 图62电子束加工装置结构示意图 工作台系统2一偏转线圈3-电磁透镜4一光阑 5一加速阳极6一发射电子的阴极7一控制栅极 8—光学观察系统9-带窗真空室门 工件 5  第六章电子東和离子東加工 (一)电子枪 电子枪是获得电子 束的装置。阴极经电 流加热发射电子,带 负电荷的电子高速飞 向带高电位的阳极 在飞向阳极的过程中, 经过加速电极加速 又通过电磁透镜把电 子束聚焦成很小的束 图6-3电子枪 1一发射电子的阴极2一控制栅极 斑 一加速阳极4一工件 6  第六章电子東和离子東加工 (二)加工型孔及特殊表面 图电子束加工的喷丝头异型孔 截面的一些实例。出丝口的窄 缝宽度为003-0.07mm,长度为 0.80mm,喷丝板厚度0.6mm 为了使人造纤维具有光泽、松 软有弹性、透气性好,喷丝头 的异型孔那是特殊形状的。 图6-5电子束加工的喷丝头异形孔  第六章电子東和离子東加工 工件运动方向 图66电子東加工曲面、弯孔 1一工件2一电子車