YS/T 14-2015异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法.pdf

ICS77.040 H21 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST14 2015 代替 / — YST14 1991 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 Testmethodforthicknessofheteroeitax laersand olcrstallinelaers p y y p y y y 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 中华 人 民共 和 国有 色 金 属 行 业 标 准 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 / — YST14 2015 * 中 国标 准 出版 社 出版 发 行 北京市朝阳区和平里西街甲 号( ) 2 100029 北京市西城区三里河北街 号( ) 16 100045 网址: p g 服务热线: 400-168-0010 年 月第一版 2016 4 * 书号: · 155066 2-29136 版权专有 侵权必究 / — YST14 2015 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准代替 / — 《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》。 YST14 1991 / — 《 》 : 本标准与YST14 1991异质外延层和硅多晶