点阵列光源辐照石墨盘温度场的COMSOL模拟.docVIP

点阵光源辐照石墨盘温度场的COMSOL模拟 （一）光源阵列组成及辐照均匀性预览 (2015-10-1） 北京东之星应用物理研究所 伍 勇 物理专业（凝聚态物理方向），文档执笔及软件绘图 贺 宁 计算机专业，新产品研发及技术总监 贺令渝 技术物理专业, 高级工程师，传统RTP产品原创 关键词：点阵光源，石墨盘，热传导偏微分方程，COMSOL模拟，Si晶片热处理， 高斯光束，MATLAB，Mathematica，Flash动画， RTP(Rapid Thermal Processing) 1）光源几何 为增加光源有效辐照光强的均匀性和光通量，我们采用具有轴对称的卤钨灯阵列如图，54 盏灯分布在54格点处，类似六角蜂 房密排方式。 这里给出六盏灯点阵的MATLAB源码，网上看到有学