300mm半导体生产厂商的AMHS系统.docxVIP

300mm 半导体工厂的 AMHS 系统 在半导体制造技术高度发达的今天， 300mm 的半导体工厂已经成为全球半导体行业的 主流。由于 300mm 半导体生产线的巨额投入，人们不得不尽可能的挖掘 300mm 工厂 的生产效率，以期得到更大的晶圆产出。一个功能强大且性能稳定的 AMHS 系统在 300mm 工厂里扮演了一个非常重要的角色。 AMHS 系统不仅可以有效的利用宝贵的洁 净室的生产空间， 并且还可以提高生产设备的利用率， 缩短在制品 WIP 的 Cycle Time ， 所以在很多的 300mm 的半导体工厂里， AMHS 都被视为可以快速提升产能， 增加生产效率的尖兵利器。 AMHS 系统在 300mm 半导体工厂的应用特点 和 200mm 晶圆相比，更大的晶圆尺寸使得单批 Lot 的晶圆重量变得更大，仅凭在 200mm 工厂 Intrabay 内的人工搬运已经远远无法满足 300mm 工厂的生产要求。 因此， 在 300mm 的半导体工厂里， 生产方式的巨大变化也给 AMHS 系统提出了更高的要求。 搬送方式的巨大进化 首先，是 AMHS 搬送方式从 200mm 工厂的 SEMI Auto 方式到 300mm 工厂 Full Auto 方式的转变。 如图 1 红色轨道所示： 在 200mm 工厂所采用的 Semi Auto