原子级平整度钛酸锶(STO)晶片定制加工.docVIP

STO原子级表面平坦化技术 一言不合直接上图~ 今天给大家介绍下，钛酸锶晶片原子级且具有表面单一终止层的表面平坦化技术 具有单一终止层（TiO2层）的SrTiO3表面 通过CMP和化学方法处理过的STO表面 SrTiO3（001）是由TiO2层和SrO层交错堆垛而成，两种终止面在STO表面上共存，并且表面能几乎相同，因此由切割或者解离得到的SrTiO3表面含有等量的TiO2和SrO原子，两者高度相差半个晶胞。 对于后续二维异质结的形成，衬底表面的状态及平整度是非常重要的，因此获得单一的终止层是外延生长出高质量的薄膜的必要条件。此外，获得宏观尺度上原子级平整的单晶薄膜是研究二维宏观电子性质的前提条件，因此获得台阶有序、具有单一钛氧面(TiO2)终止的原子级平整表面的钛酸锶SrTiO3(001)衬底显得尤为重要。 目前传统的技术是通过化学机械抛光（CMP）、高温退火和低浓度的酸刻蚀，我们已经掌握了相关的技术，可以将处理的成功率提升到80%以上，比目前市面上的处理方法良率提高3倍以上，大大节省了时间和成本。因此，欢迎大家咨询并委托定制具有单一表面终止层STO样品。 其他问题： 1. 具有单一终止层表面的STO衬底，一般哪方面研究者用的比较多？ 超导氧化物外延课题组，如YBCO、-